华卓精科推出系列高端装备助力HBM芯片制造设备国产化
HBM技术的重要性 - HBM凭借3D堆叠架构与超高带宽性能成为AI芯片、数据中心及超算领域的"性能倍增器"[1] - HBM通过垂直堆叠多层DRAM芯片实现每秒数TB的带宽跃升[1] - 随着HBM3/4堆叠层数增至12层以上,混合键合成唯一技术路径[1] HBM制造的技术壁垒 - 精度极限:芯片堆叠需亚微米甚至几十纳米级对准[1] - 工艺复杂度:混合键合需实现介质层与金属层的原子级融合[1] - 工艺品质极限:HBM对DRAM芯片品质及可靠性要求极高,SNC结构的结晶质量对良率具有决定性作用[1] - 良率与成本挑战:超薄芯片堆叠给良率和成本带来挑战[1] 华卓精科的技术突破 - 公司自主研发出多款HBM芯片制造高端装备,包括混合键合设备、熔融键合设备、芯粒键合设备、激光剥离设备、激光退火设备[1] - 激光退火工艺可直接实现Void Free,大幅提升良率[1] - 公司以"零部件-设备-工艺"全链条自主创新为核心驱动力[2] 行业现状与国产化进展 - 全球HBM市场由SK海力士、三星、美光主导[2] - 中国HBM产业链关键设备端国产化率不足5%[2] - 公司高端装备矩阵填补关键设备国产化空白,推动中国存储产业从"替代进口"向"定义标准"跃迁[3] 公司研发实力 - 依托20余年储备的超精密测控技术、核心专利及国家级博士后科研工作站[2] - 瞄准HBM国产化战略缺口,为中国HBM企业提供"弯道超车"利器[2]