Workflow
EUV光刻机,又一重磅宣布
半导体行业观察·2025-03-23 12:03

战略合作与技术创新 - imec与蔡司半导体制造技术公司(SMT)签署战略合作伙伴协议(SPA),将合作延长至2029年,共同推进2纳米以下半导体技术的研发[1][3] - 双方自1997年起已开展多项联合项目,旨在延续摩尔定律,推动微芯片和内存处理器性能提升[3] - 合作重点包括高数值孔径EUV光刻技术,该技术对生产更强大、更节能的AI、自动驾驶、工业4.0等关键应用芯片至关重要[3] 试验生产线扩展 - imec正在比利时鲁汶扩展NanoIC试验线,涵盖半导体制造全价值链和技术链[5] - 蔡司将通过提供集成到ASML光刻扫描仪系统的光学元件支持试验线,并参与制造、工艺和测量技术研究项目[5] - 试验线旨在为行业提供先进半导体技术平台,用于创新探索、开发和测试,同时优化现有设备和方法以实现更小、更强、更节能的芯片[5] 行业合作与欧洲战略 - 双方合作符合《欧洲芯片法》目标,旨在加强欧洲技术主权、竞争力和韧性[7] - 蔡司对imec试验线的投资有助于保持欧洲在最新半导体设备领域的领先地位[7] - 该战略伙伴关系体现了欧洲合作伙伴间的凝聚力,对建立全球最先进的2纳米以下研发基础设施NanoIC试验线至关重要[8]