清华大学仪器设备采购意向 - 清华大学发布34项仪器设备采购意向，预算总额达3.14亿元 [1][2] - 采购涉及可扩展原位纳米分辨率三维无损检测系统、离子研磨仪、中微子探测器反符合探测器、扫描电子显微镜等 [2] - 预计采购时间为2025年4~5月 [2] 采购项目详情 - 离子研磨仪预算120万元，用于制备毫米级别平滑表面样品，满足电镜观察需求 [3] - 中微子探测器反符合探测器预算2000万元 [3] - 微系统设计硬件加速器预算5000万元 [3] - 单片清洗机预算1120万元 [3] - 高密度等离子体化学气相淀积系统预算2400万元 [5] - 金属有机物化学气相沉积预算3600万元 [5] - 激光退火预算3000万元 [5] - 片-片真空键合系统预算2500万元 [5] - 离子注入机预算2000万元 [5] - 可扩展原位纳米分辨率三维无损检测系统预算1850万元 [5] - 大型多功能热压烧结设备预算995万元 [5] 其他采购项目 - 原子层沉积ALD系统预算600万元 [5] - 通用金属溅射台预算600万元 [5] - 国产接触式光刻机及辅助设备预算100万元 [5] - 化学机械抛光设备预算629万元 [5] - 扫描电子显微镜预算250万元 [5] - 超高速摄像机预算135万元 [5] - 高真空卷绕镀膜机预算670万元 [5] - 搭载手臂的移动机器人预算180万元 [6]