近日，据浏阳经济技术开发区管委会披露，长沙惠科光电有限公司（下文简称"长沙惠科"）拟投 资300,007.36万元，建设 长沙 Oxide 研发及产业化项目 。 该项目拟置于长沙惠科主厂房东侧建设，占地面积15486m 2 ，总建筑面积60000m 2 。项目内 容主要为生产厂房及配套的废气处理设施，产品为铟镓锌氧化物（IGZO）工艺阵列玻璃基板，生 产方案与规模为1.5万片/月。 据了解，长沙惠科在2019年签约落户浏阳经开区，总投资280亿元，建成8.6代TFT-LCD面板生 产线、绑定贴合生产线。项目于签约当年动工，2021年完成首条产线的点亮，2022年实现12条 产线的点亮投产。 与LTPS技术相比，虽然IGZO在电子迁移率和高分辨率方面稍逊一筹，但其优势在于仅需对现有 a-Si 生产线进行工艺改进，便可实现技术升级，大大降低了技术转换成本。 | 特性 | IGZO | a-Si | LTPS | | --- | --- | --- | --- | | 迁移率 (cm2/V · s) | 10-40 | 0.5-1 | 50-500 | | 漏电流 | 极低 10 | 较高 | 中等 | | 制程温 ...