公司概况 - 中科仪是中国科学院下属的半导体制造设备核心部件及真空科学仪器供应商 专注于洁净真空和超高真空技术研发[3][4] - 公司成立于2001年 注册资本1.72亿元 是国家"专精特新"小巨人企业[4] - 主要产品包括用于集成电路制造的干式真空泵和科研用真空科学仪器设备[5] 市场地位与技术优势 - 国内集成电路领域出货量最大的干式真空泵制造商 累计出货超4万台(其中集成电路领域2.5万台)[5][6] - 唯一在集成电路先进制程(14nm逻辑芯片/128层3D NAND)实现批量应用的国产企业[5] - 2024年干式真空泵在国内集成电路领域市占率达12.72% 打破国外垄断[6] - 自主研发8大核心技术 拥有99项发明专利和30项软件著作权[20] 客户与供应链 - 客户覆盖超100家集成电路企业 包括中芯国际、长江存储等主流晶圆厂及北方华创等设备厂商[7] - 产品通过台积电、Intel、SK海力士测试验证并小批量出货[7] - 前五大客户销售占比约42-44% 不存在单一客户依赖[24][25] - 前五大供应商采购占比约30-35% 供应链结构稳定[26][27] 财务表现 - 2022-2024年营收从6.98亿元增长至10.82亿元 年复合增长率24.4%[12] - 同期扣非净利润从6186万元增至8788万元 年复合增长19.19%[16] - 综合毛利率维持在29-33%区间 低于同行业设备厂商但接近京仪装备水平[17][18] - 持有拓荆科技1.54%和中科信息0.8%股份 2024年末公允价值合计7.35亿元[8][15] 产品与产能 - 开发3大系列近40款干式真空泵 适配30余家国内外设备厂商的数百种机台[22] - 2024年产能10,613台 产量11,586台 产能利用率达109%[22] - 干式真空泵收入占比从2022年64.78%提升至2024年72.44%[19] - 84.63%的干式真空泵收入来自集成电路领域[20] 股东结构与募资计划 - 控股股东国科科仪持股35.21% 实际控制人为中国科学院[28][30] - 国家集成电路基金为第二大股东(19.73%)[31][32] - 拟募资8.25亿元 用于干式真空泵产业化(2.31亿元)等三个项目[8][9] 行业背景 - 集成电路15个主要工艺环节中11个需使用真空泵(占比超70%)[9] - 先进制程(如7nm EUV光刻)对真空环境要求更苛刻 单工序所需真空泵数量增加[9][10] - 国际厂商(如Edwards、Ebara)仍具先发优势 国内企业在品牌影响力和应用规模存在差距[35]