技术突破 - 首台国产商业化电子束光刻机已在客户现场进入应用测试 [1] - 设备精度比肩国际主流设备 [1] 研发意义 - 该设备标志着量子芯片研发从此有了"中国刻刀" [1] 项目背景 - 该设备为浙江大学成果转化基地首批签约孵化的项目之一 [1] - 项目基地位于杭州城西科创大走廊 [1]