上海大学仪器设备采购意向 - 上海大学发布32项仪器设备采购意向，预算总额达1.04亿元，涉及EUV光源腔环境控制与流动测试平台、实时单细胞类器官多模式分析仪、电池绝热量热仪、原子级表面粗糙度和应力仪等设备，预计采购时间为2025年711月 [1][2] 主要采购设备及预算 - EUV光源腔环境控制与流动测试平台：预算198万元，要求等离子体发生器功率0300W连续可调，真空度<0.1 Pa，等离子体密度10?-101?cm?3，质谱分析范围1-300 amu，分辨率>50 at 10% peak height [4] - 实时单细胞类器官多模式分析仪：预算100万元，需具备明场、相差、荧光观察及彩色明场成像功能，配置DAPI、GFP和RFP通道，支持不少于23种荧光通道选配 [4] - 电池绝热量热仪：预算110万元，用于研究电池在绝热条件下热过程和热失控行为，由绝热量热仪测量系统、过充放测试仪器、在线质谱尾气测试系统等组成 [6] - 原子级表面粗糙度和应力仪：预算292万元，要求分辨率达亚纳米级或原子级，兼具表面形貌和应力/应变测量功能，适用于光刻机镜片、半导体晶圆检测 [6] 高端科研设备采购 - 原位辐照透射电镜系统：预算1100万元，集高分辨成像、离子束辐照与多物理场原位加载于一体，可实现材料在受控辐照环境下的原子/纳米尺度实时观察 [9] - 多离子束加速器多场耦合原位分析系统：预算1300万元，可模拟核能极端环境中材料所承受的复合离子辐照，并结合高温、低温、电场、气氛、机械应力等多种物理场 [9] - 核材料原位精密加工与表征系统：预算600万元，集成聚焦离子束、扫描电子显微镜、微机械加工、原位力学测试以及多物理场环境控制等多种功能模块 [9] - 智能化高通量增材制造系统：预算1200万元，实现金属材料样件的全流程自动操作，包括自动装粉、自主打印、打印后自动清理粉末并取出部件 [10] 其他重点采购项目 - 光刻机关键零部件磁流变抛光控制系统和工艺软件：预算298万元，要求可控轴数不少于6个，支持不少于5轴联动，重复定位精度≤1μm [6] - 大功率桌面级EUV光源：预算153万元，要求极紫外光功率＞10W/2pi sr，放电电流＞10kA，放电频率0-2kHz可调 [6] - 吨级气保磁控电渣炉系统：预算490万元，用于核电关键部件用特殊钢、高温合金的高洁净、高均质超常冶金制备 [10] - 自主材料实验室用机器人自动化系统：预算220万元，可通过复合协作机器人实现样品的识别、取放、运输，并包含作业管理、调度、监控 [10]