财务表现 - 2025年上半年营业收入7.022亿元 同比增长51.39% [1][2] - 销售毛利率54.31% 同比提升8.08个百分点 [2] - 归属于上市公司股东的净亏损1835.43万元 扣非后净亏损1.103亿元 [2] - 经营活动现金流量净额亏损4.424亿元 同比减少3.474亿元 [3] 研发投入 - 研发支出2.854亿元 同比增长37.79% [1][3] - 研发投入增长主要源于职工薪酬、技术服务费及股份支付费用增加 [3] - 新产品及现有产品向更前沿工艺迭代升级的研发投入持续加大 [3] 产品与技术 - 产品覆盖约70%量检测设备市场容量 [3] - 量测设备与智能软件设备已实现量产 [3] - 明场/暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备仍处于客户工艺验证阶段 [3] - 明场纳米图形晶圆缺陷检测设备对应19.4%市场空间 光学关键尺寸量测设备占9.1% [4] 市场拓展 - 客户结构覆盖逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、MEMS等前道制程企业 [4] - 市场拓展至化合物半导体、先进封装及半导体材料企业 [4] - 光刻套刻分析反馈系统已进入先进封装和硅片及制程设备领域 [4]