半导体设备国产化加速 - 国内高校及科研机构8月密集招标刻蚀设备 采购总预算超过4000万元 [2][3] - 招标设备类型多样 包括感应耦合等离子体刻蚀系统、反应离子束刻蚀机、电容耦合等离子体刻蚀系统等 满足不同材料和工艺需求 [3] 国产设备采购政策倾向 - 多项招标明确要求"不允许进口" 包括中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）的四个项目 [3] - 香港城市大学（东莞）的采购特别标注"国产"要求 [3] - 中科院半导体研究所和南京大学项目专门面向中小微企业采购 体现对国内中小型设备企业的支持 [3] 重点采购单位分析 - 中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）需求最集中 8月20-21日连续发布三批刻蚀设备采购计划 总预算达1254万元 [4] - 采购设备用于氧化硅、钯酸锂和硅通孔等不同材料的刻蚀工艺 [4]