文章核心观点 - 上海交通大学发布12项高端科研仪器设备采购意向，预算总额达1.06亿元人民币，涉及多项前沿精密设备，预计采购时间为2025年10月 [2][3] 采购规模与时间 - 采购预算总额为1.06亿元，共包含12个仪器设备项目 [2] - 所有设备的预计采购时间均为2025年10月 [3][4] 主要采购设备清单及技术规格 - 电子束曝光机：采购2台，要求分辨率≤50 nm，光斑尺寸≤16 nm，定位精度≤1 nm，预算380万元 [4] - 极低噪声低温恒温系统：采购1套，要求等效噪声密度≤5nV/√Hz，无负载基础温度≤10mK，预算350万元 [4] - 离子束刻蚀设备：采购1台，要求离子能量100–2000 eV，刻蚀速率1–100 nm/min，预算120万元 [4] - 真空多腔体磁控溅射系统：采购1台，要求真空度≤ 6.7*10⁻⁵ Pa，射频源功率≥ 500 W，预算390万元 [4] - 深硅刻蚀设备：采购1台，要求刻蚀深度10–500 µm，深宽比>20:1，预算780万元 [5] - 反应离子刻蚀设备：采购2台，要求刻蚀分辨率≤ 50 nm，射频功率范围100 W至1000 W，预算540万元 [5] - 铁基纳米线掩膜生长系统：采购1套掩膜分子束外延设备，配套多个蒸发源及电子衍射仪，预算500万元 [5] - 激光浮区炉：采购1台，激光功率2KW，温度>2500摄氏度，预算510万元 [5] - 复合镀膜系统：采购1套，包含电子束蒸镀、热蒸镀及磁控溅射三个主腔室，预算700万元 [5] - 低温SQUID测量系统：采购1套，要求无液氦制冷，制冷功率大于1.5W@4K，变温范围≤1.6K-325K，预算300万元 [5] - 低温步进与扫描系统：采购1套，液氦杜瓦体积不小于150 L，磁体为9T-1T-1T，预算400万元 [5] - 湿式稀释制冷机扫描探针显微镜系统：采购1套，要求稀释制冷机最低温度≤20mK，样品空间直径不小于60mm，预算1000万元 [6]