产品定义与行业现状 - 文章统计范围聚焦于半导体行业使用的射频电源和直流电源，射频电源是能产生射频范围（约3KHz～300GHz）正弦波电压的电源，功率一般为0.3～15kW，频率包括2MHz、13.56MHz等，主要由直流电源模块、振荡电路模块、功率放大模块等五部分组成 [1][2] - 中国半导体设备电源行业在政策与需求驱动下高速增长，国产企业在射频电源、高压直流电源等领域实现突破，但高端产品仍依赖进口，核心器件自给率低 [3] - 全球市场由美欧日企业主导，美国MKS、AE等企业占据大量射频电源份额，国际巨头凭借SiC/GaN宽禁带器件等技术领先，其电源功率密度为国产产品的1.5倍，国产替代正在加速推进 [3] 行业技术趋势与瓶颈 - 行业技术向高频化、集成化及智能化演进，SiC/GaN器件渗透率提高推动能效提升，但国内企业面临高端射频功率放大器依赖进口、阻抗匹配精度存在差距、微秒级响应稳定性不足三大技术瓶颈 [4] - SiC和GaN等宽禁带半导体材料加速替代传统硅基器件，使电源转换效率突破，功率密度达国际水平的1.5倍，主要应用于AI服务器、新能源汽车及射频电源领域 [6] - 电源管理系统深度集成AI算法与物联网技术，实现动态能效优化与远程智能控制，全球碳中和目标倒逼电源能效标准升级，中国"双碳"政策要求设备电源转换效率从原90%提升至≥95% [6] 市场规模与竞争格局 - 2024年全球半导体设备用电源市场规模达1208.9百万美元，预计2031年将达到3364.3百万美元，期间年复合增长率（CAGR）为16.52% [7] - 2024年中国市场规模为343.8百万美元，约占全球的28.4%，预计2031年将达到1036.1百万美元，届时全球占比将提升至30.8% [8] - 从产品类型看，射频电源是主要类别，2024年规模达1013.2百万美元，占据半导体设备用电源市场的83.81%，主要应用于刻蚀和CVD/PVD工艺，2024年两者分别占市场应用的38.54%和44.05% [8] - 全球主要厂商包括Advanced Energy、万机仪器等，2024年前五大厂商份额占比超过44.38%，行业竞争预计将更加激烈 [8] 产业政策环境 - 国际政策方面，美国限制14nm以下设备电源对华出口并将中企列入实体清单，日本通过"半导体复兴计划"补贴2nm产线，韩国"K-半导体战略"提供税收抵免推动本土电源设备需求增长48% [12][13] - 国内政策将半导体设备电源纳入"中国制造2025"等重点领域，通过专项基金、研发补贴和税收减免推动国产替代，目标到2025年提高SiC/GaN电源模块国产化率，地方政府如上海市投入50亿元支持技术研发 [14] - 中国作为主要消费市场，其关税反制措施会影响美国相关企业销售，为欧洲和中国本土企业带来市场扩张契机，在技术压制背景下国产替代趋势将持续增强 [11]