产品定义及统计范围 本文主要统计用于半导体行业的射频电源和直流电源。 射频电源是具有一定功率、能产生固定频率的正弦波电压的电源，其频率在射频范围内（约 3KHz ～ 300GHz ）。 一般功率为 0.3 ～ 15kW ，频 率有 2 MHz 、 4KHz 、 13.56 MHz 、 27.12 MHz 、 40.68MHz 、 60MHz 等不同范围，可以利用高频电源产生稳定的电流和电压，满足各种机械 设备需求。 射频电源主要由 5 部分组成：直流电源模块、振荡电路模块、功率放大模块、射频功率检测模块、射频联锁控制模块。 直流电源模块：为电源内部控制电路板供电，包括 24V 、 15V 等电压； 振荡电路模块：是晶体振荡部分，产生正弦波信号； 功率放大模块：由几个固态晶体管组成，主要目的是放大高频信号的功率，使输出功率满足输出要求； 射频功率检测模块：主要是检测控制电路，通过高频测量电感检测入射功率和反射功率，并将信号提供给主控板，实现自动 PID 控制； 3. 全球碳中和目标倒逼电源能效标准升级，中国"双碳"政策要求设备电源转换效率≥ 95% （原 90% ），推动企业聚焦于：零待机损耗 、再生能源 适配 ...