摘要 ： 北京金竟科技Pharos310电子束曝光机获北京市首台（套）认证，打破长期进口依赖，已在多所 高校及科研机构应用，标志着我国在高端光刻设备领域实现关键突破。 特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我 们的推送。 近日， 北京金竟科技有限责任公司 自主研发的Pharos 310电子束曝光机正式获得 北京市首 台（套）重大技术装备认证 ，标志着该产品成为经官方权威认证的首款国产商业化电子束曝光 设备。 Pharos系列电子束曝光机 电子束曝光机又称电子束光刻机，广泛应用于微纳米加工、半导体器件制备等 国家战略相关领 域 。 此前，我国在该领域 长期依赖进口 ，并 屡遭禁运 ，严重制约了科技事业发展。金竟科技推 出 的 Pharos 系 列 电 子 束 曝 光 机 打 破 了 这 一 局 面 ， 为 解 决 该 领 域 " 卡 脖 子 " 困 境 提 供 了 关 键 支 撑。 金竟科技完成了 电子束曝光工艺和设备核心部件的技术突破 ，率先推出的 自主创新 电 子 束 曝光系统整机设备：Pharos系列， 多项关键技术指标达到国际一流水平， ...