摘要 ： 近日，zycgr发布多批政府采购意向，仪器信息网特对其中的仪器设备品目进行梳理，统计出22项仪器设备采购意向，预算总 额达1.34亿元。 特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我们的推送。 近日， z ycgr发布 22 项仪器设备采购意向，预算总额达 1.34 亿 元，涉及 350kg真空感应熔炼炉 、200kg保护气 氛电渣熔炼炉、透射电子显微镜（TEM）、特征尺寸扫描显微镜（CD-SEM） 、聚焦离子束系统 等，预计采购时间 为 202 5 年 8~11 月 。 部分采购仪器简介： 特征尺寸扫描显微镜（CD-SEM） 特征尺寸扫描显微镜（Criti c a l Dime n si o n Sc a n n i n g El e c tr o n Mi c r o s c o p e，简称CD-SEM）是半导体制造中用于纳 米 级 图 形 尺 寸 测 量 与 缺 陷 检 测 的 核 心 设 备 ， 被 誉 为 " 芯 片 工 厂 的 尺 子 " 。 其 核 心 功 能 是 对 晶 圆 上 的 微 米 / 纳 米 级 结 构 （如晶 ...