政府采购意向概述 - zycgr发布18项仪器设备采购意向，预算总额达1.83亿元[2][3] - 采购预计在2025年9月至11月期间进行[3][8] 采购仪器设备清单及预算 - 膜厚仪预算550万元，用于半导体等材料膜厚测量，表面粗糙度测量精度为0.1 nm，TTV/翘曲测量精度为20nm[9] - Overlay设备预算825万元，用于套刻精度的量测[9] - 场发射扫描电子显微镜(SEM)预算585万元，用于纳米材料制备与新型器件研发和产品失效分析[9] - 自动光学检测（AOI）预算977万元，用于脑机接口相关材料与工艺的微结构、缺陷和封装检测分析[9] - 原子力显微镜预算545万元，用于脑机接口用材料的力学、电学特性及表面形貌的研究[9] - 椭偏仪预算214万元，用于实现膜厚和光学常数同步测量[9] - 白光干涉仪预算200万元，用于高精度非接触、三维形貌测量[9] - 全自动膜厚测试机预算350万元，用于微纳米级的无损量测[10] - 全自动探针台预算495万元，用于脑机接口器件、系统封装的电气性能测试[10] - 溶液空调机组预算300万元，用于精确控制实验动物设施的环境参数[10] - 空调机组预算1736万元，功能同溶液空调机组，但预算更高[10] - 二代测序系统预算876万元，24小时内产出的数据量可高达几Tb，用于时空转录组数据获取[10] - 计算机断层扫描(CT)预算760万元，用于实验动物的三维解剖数据获取[10] - 5T大动物磁共振成像(MRI)预算6000万元，用于满足非人灵长类的多样化研究需求[10] - 9.4T小动物磁共振成像(MRI)预算3200万元，针对小鼠、大鼠等小型实验动物设计[10] - 正置显微镜预算175万元，用于脑机接口相关材料与工艺的微结构、工艺过程中的缺陷、来料检查[10] - 灯床塔预算160万元，为手术提供高效、安全、精确的操作环境[10][11] - 手术动力系统预算360万元，用于脑机接口植入手术中的颅骨开孔或切割[11] 仪器设备技术特点 - 膜厚仪通过光学、X射线、机械或声学原理实现亚纳米级精度（0.1nm~10μm）的无损检测[4] - 白光干涉仪通过分析白光在样品表面与参考镜之间的干涉条纹，实现亚纳米级分辨率（0.01–0.1 nm）的非接触式表面形貌重建[5] - 全自动膜厚测试机通过机器人自动化上料、多点高精度扫描、AI智能分析实现无人值守的批量薄膜厚度检测，将传统单点检测效率提升10倍以上[7]