国产质谱仪器创新发展与应用论坛成功举办,共推半导体产业核心装备自主化
仪器信息网·2025-12-02 17:07

论坛概况与宏观意义 - 论坛由苏州实验室主办,国家新材料测试评价平台电子化学品行业中心、仪器信息网等多个机构承办,汇聚产学研用各方力量[2] - 论坛围绕质谱技术前沿、核心部件攻关、整机开发与半导体行业应用等关键议题展开深入研讨,展现了行业协同发展的新态势[2][3] - 会议在国产科学仪器与半导体行业应用的宏观规划与生态建设层面展开讨论,标志着在攻克高端科学仪器“卡脖子”难题、提升半导体产业链自主可控能力方面迈出关键一步[2][15] 整机研发与关键技术突破 - 北京怀柔科学城质谱技术研究院深度剖析了国产质谱仪的整体现状与发展战略[14] - 西北核技术研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、苏州安益谱精密仪器有限公司分别就磁质谱、有机质谱和高分辨质谱等特定领域的国产化攻坚与技术进步发表专题报告[14] 核心零部件与基础技术自主化 - 四川瑞莱斯精密机械有限公司汇报了四极质谱仪零部件的研制概况[14] - 中科科仪股份有限公司详解了科学仪器用分子泵技术的国产化进展[14] - 杭州谱育科技发展有限公司分享了其在ICP-Q-TOF仪器自主研制上的突破与应用探索[14] 半导体行业应用与验证 - 北京莱伯泰科仪器股份有限公司介绍了国产ICP-MS/MS在硅片及湿电子化学品检测中的最新应用[15] - 上海集成电路材料研究院、上海市计量测试技术研究院分别聚焦于质谱技术在半导体检测、结果溯源中的实践与挑战[15] - 论坛还关注到气态污染物检测、超纯试剂与超纯水等支撑性技术,相关报告由多家公司呈现,共同勾勒出保障半导体良率的完整技术链条[15] 行业生态建设与发展动能 - 中国认证认可协会分享了通过“国仪高品”认证体系推动国产仪器品质提升的路径[2] - 北京信立方科技发展股份有限公司介绍了“国产仪器腾飞行动”的具体实践,为行业注入发展动能[2]