文章核心观点 - 近期多个单位集中发布了21项高端仪器设备采购意向，预算总额高达5.51亿元人民币，预计采购时间为2025年12月 [1] - 此次采购清单高度集中于量子计算（特别是超导量子芯片与离子阱芯片）研发与制造所需的关键工艺、检测及支撑设备，表明该领域正进入大规模、系统性的硬件投入阶段 [1][3][4] 详细采购清单分析 芯片制造核心工艺设备 - 薄膜沉积与生长系统：预算总额达2.905亿元，是多腔体级联薄膜生长系统（1.95亿元/2套）、原子层沉积系统（1800万元/1台）、低气压等离子体增强化学气相沉积系统（1750万元/1套）及等离子体增强化学气相沉积系统（2400万元/2套）等高价值设备 [3][4] - 图形化与刻蚀设备：包括专用深硅刻蚀机（3462万元/2台）和电子束曝光机（4139万元/1台），用于实现离子阱芯片的高深宽比三维结构刻蚀和量子结构无缺陷曝光 [3][5] - 配套工艺设备：涉及全自动匀胶显影系统（3000万元/1套）、自动干法去胶系统（1500万元/2套）以及隔离磁控溅射镀膜机（4230万元/3台），以支持12英寸超导量子芯片的全流程自动化制造 [3][4] 精密检测与量测设备 - 形貌与尺寸量测：采购临界尺寸扫描电子显微镜（1436万元/1套）、自动台阶仪（750万元/3台）及透明介质膜厚测试仪（400万元/2台），用于纳米级关键尺寸、薄膜厚度与台阶形貌的精确表征 [3][4] - 材料与结构分析：采购X射线衍射系统（500万元/1套），用于超导量子芯片所用钽、铌等薄膜的晶体结构与应力精确表征 [4] 研发辅助与支撑系统 - 基础研发设备：包括用于辅助观察检测的光学显微镜（2520万元/72台）、用于电学性能测试的源表（450万元/6台）以及泵车（136万元/8套）等 [3] - 特种气体与低温系统：采购氦三气体2080升（5500万元），主要用于稀释制冷机的研制与生产；同时采购氦回收纯化液化系统（180万元/1套） [3][5] - 量子调控与测控系统：涉及用于离子囚禁与量子操控的多波长激光器系统（1109万元）及用于钙离子调控的钛宝石激光器（138万元/1台） [4] - 频率参考源：采购高性能铷钟、晶振参考源一批（158万元），为实验系统提供高精度稳定的频率参考 [4]