半导体产业链 探针卡（Probe Card）是一种应用于半导体生产过程晶圆测试阶段的"消耗型"硬件，是由探针、电子元件、线材与印刷电路板（PCB）组成的一种测试接口。作为晶 圆制造与芯片封装之间的重要节点，晶圆测试能够在半导体产品构建过程中实现芯片制造缺陷检测及功能测试，对芯片的设计具有重要的指导意义，能够直接影响 芯片良率及制造成本，是芯片设计与制造不可或缺的一环。 晶圆测试的方式主要是通过测试机和探针台的联动，在测试过程中，测试机台并不能直接对待测晶圆进行量测，而是透过探针卡（Probe Card）中的探针（Probe） 与晶圆上的焊垫（Pad）或凸块（Bump）接触而构成电性接触，再将经由探针所测得的测试信号送往自动测试设备(ATE)做分析与判断，因此可取得晶圆上的每颗晶 粒的电性特性测试结果。 市场产品结构从产品结构来看，探针卡产品主要分为MEMS探针卡、垂直探针卡、悬臂探针卡等。其中，MEMS探针卡具有精密度高、测试效率高、耐用性强、稳 定性好等优势，系目前行业主导产品，根据Qyresearch的数据，MEMS探针卡市场份额近年已经超过70%份额。MEMS探针卡因性能优势显著，广泛应用于中高端芯 片 ...