文章核心观点 - 一家科研单位近期密集采购了三台不同类型的光刻机，总金额超过1.4亿元人民币，供应商均为中国本土企业，显示出国内在半导体关键设备领域的采购动态与供应商格局 [1][2][3][4] 采购项目详情 - 项目一：步进扫描式光刻机采购 - 供应商为上海微电子装备（集团）股份有限公司 [1] - 中标金额为10999.985万元人民币 [1] - 采购设备为SMEE SSC800/10型号步进扫描式光刻机，数量为1台 [1] - 项目二：电子束光刻机采购 - 供应商为中国电子科技集团公司第四十八研究所 [2][3] - 中标金额为2100万元人民币 [3] - 采购设备为中国电子科技第四十八所M3550-1/UM型号电子束光刻机，数量为1套 [3] - 项目三：接触式光刻机采购 - 供应商为南京四通系统集成有限公司 [4] - 中标金额为1010万元人民币 [4] - 采购设备为SUSS MA200 Gen3型号自动型接触式光刻机，数量为壹套 [4] 其他相关采购 - 该科研单位在采购光刻机的同时，还采购了晶圆清洗机、原子层刻蚀设备(ALE)等其他仪器设备 [4]