中国科学院微电子研究所设备采购计划 - 中国科学院微电子研究所发布3项仪器设备采购意向，预算总额达1.16亿元[1][2] - 预计采购时间为2025年11月至12月[2] 采购设备详情 - 光刻套刻精度测量设备(IBO)：预算3100万元，用于通过影像型方式量测曝光后的套刻误差，量测准确性误差小于0.15nm，设备引入量测误差小于0.1nm，量测单点时间小于0.3秒[4] - 光刻套刻精度测量设备(DBO)：预算3200万元，用于通过衍射方式量测光刻后的套刻偏差，设备引入的总不确定性小于0.2nm，支持425至885纳米的连续波长量测，中心波长选择精度为1纳米[4] - 12吋高深宽比工艺氧化硅填充化学气相沉积系统：预算5260万元，用于先进逻辑三维器件浅沟槽隔离填充，沉积薄膜成膜均匀性片内片间均小于1.5%，可实现对小于40nm的凹槽（深宽比3:1）无缝填充，成膜颗粒增加满足小于20颗/片，采购数量为1台[4]