中国科学院光电技术研究所仪器设备采购计划 - 中国科学院光电技术研究所发布16项仪器设备采购意向，预算总额达1.89亿元，预计采购时间为2025年12月 [1][2] 采购清单详情 高精度测量与加工设备 - 计划采购6自由度激光干涉测长系统，预算144万元，用于工件台多自由度高精度位移测量及高速反馈，技术指标包括X向测量范围≥±125mm，分辨率≤0.2nm，最大测量速度≥300mm/s [4] - 计划采购高精度激光测振仪，预算195万元，用于工件台振动测试，测量频率范围DC~100KHz，最大测量速度±10m/s [4] - 计划采购激光直写设备，预算640万元，用于版图加工，特征尺寸300-600nm，支持≥256灰度级曝光，光源为300mW、405nm [4] - 计划采购器件模块版图加工设备，预算200万元，用于相关实验 [5] - 计划采购12吋立式激光干涉测量系统，预算840万元，用于相关实验 [5] - 计划采购水导激光系统，预算1200万元，用于满足实验需求 [5] - 计划采购微纳图形结构加工与断面分析设备，预算1200万元，用于满足实验需求 [5] - 计划采购掩模图形电子束缺陷检测系统，预算510万元，用于满足实验需求 [6] 激光与光源设备 - 计划采购高功率飞秒激光器，预算295万元，用于满足实验要求 [4] 半导体工艺与微纳加工设备 - 计划采购12英寸微纳结构刻蚀系统，预算2900万元，用于满足实验需求 [5] - 计划采购化学气相膜层沉积系统，预算2600万元，用于满足实验需求 [5] - 计划采购溅射镀膜设备，预算2270万元，用于满足实验需求 [5] - 计划采购单片有机沾污清洗机，预算2580万元，用于满足实验需求 [5] - 计划采购晶圆背面/边洗设备，预算2500万元，用于满足实验需求 [5] - 计划采购掩模表面处理设备，预算700万元，用于满足实验需求 [6] - 计划采购12吋晶圆倒片机，预算160万元，用于满足实验需求 [6]