行业政策与支持 - 工信部部长强调用于光刻胶的玻璃瓶是重大科技攻关内容 该产品已结束行业几乎100%依赖国外的历史并在产线上试用反应良好 [1] - 国家集成电路产业投资基金三期规模达1600亿元 其中约18%资金投向光刻胶等半导体材料领域 [1] - 上海等地出台针对性补贴政策 对晶圆厂采购国产光刻胶给予10%的补贴 [1] 国产化进展与技术突破 - 国内企业已攻克23项ArF光刻胶关键技术 产品良率稳定在92%以上 [2] - 14nm FinFET工艺所需的ArF光刻胶已通过客户验证 成本相比进口产品低15%左右 [2] - 国内KrF光刻胶的自给率正在向50%冲刺 [2] - 过去光引发剂等核心材料国内依赖度一度超过95% [1] 市场需求与产能拉动 - 每生产1万片12英寸晶圆约消耗5吨光刻胶 [2] - 2025年国内12英寸晶圆产能预计达每月120万片 对应光刻胶需求量将突破6000吨 [2] - 国内晶圆厂的扩产计划直接拉动了光刻胶需求 [2] 行业未来展望 - 随着国内领先企业在ArF KrF光刻胶领域实现从技术突破到规模化量产的关键跨越 国产替代进程将大幅提速 [2] - 市场预期在政策与需求双轮驱动下 2026年国产光刻胶有望迎来爆发年 [2]