摘要 ：近日，清华大学发布多批政府采购意向，仪器信息网特对其中的仪器设备品目进行梳理，统计出 18项仪器设备采购意向，预算总额达1.36亿元。 特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我 们的推送。 近日， 清华大学发 1 8 项仪器设备采购意向，预算总额达 1 . 3 6 亿 元 ， 涉 及 等 离子体增强化 学增强气相淀积（PECVD单腔） 、电感耦合等离子体增强化学气相沉积、高密度等离子体化 学气相淀积系统、原子层沉积ALD系统 、离子注入机 等，预计采购时间为2 0 2 6 年 1 月。 详细采购清单： 清华大学2 0 2 6年1月 仪器设备采购 意向汇总表 | 采购 | 需求概况 | 预算 | 采购 | | --- | --- | --- | --- | | 项目 | | 万元 | 时间 | | 等离子体增强化学增强气相 | 等离子体增强化学增强气相淀 | | 2026 | | 淀积（PECVD单腔） | 积（PECVD单腔）。 | 270 | 年1 | | | | | 月 | | 电感耦合等离子体增强化学 | 电感耦合等离子体增强化学 ...