清华大学2026年大型仪器设备采购计划 - 清华大学发布多批政府采购意向，共涉及18项仪器设备采购意向，预算总额达1.36亿元，预计采购时间为2026年1月 [1][2] 采购清单与预算分布 - 高价值核心设备：电子束光刻系统预算最高，达3000万元；离子注入机预算2000万元；高密度等离子体化学气相淀积系统(HDPCVD)预算2400万元 [4][5] - 重要工艺与沉积设备：原子层沉积ALD系统预算900万元；电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)预算300万元；等离子体增强化学增强气相淀积(PECVD单腔)预算270万元 [4] - 其他关键设备：关键尺寸检测系统预算700万元；单片清洗机预算840万元；新材料刻蚀机预算500万元；扫描电子显微镜预算500万元 [4][5] - 辅助与测试设备：定向磁化真空退火系统、通用电子束蒸发台预算均为400万元；CMP后单片清洗设备预算310万元；霍尔效应测试仪预算290万元；宽温区四探针电学测试系统预算260万元；ECV/结深测试仪预算200万元；电镀化学镀沉积系统预算200万元；电化学CV测试仪预算90万元 [4][5]