清华大学仪器设备采购计划 - 清华大学发布18项仪器设备采购意向，预算总额达1.06亿元，预计采购时间为2026年1月 [1][2] 高价值核心设备采购 - 金属有机物化学气相沉积设备预算最高，为3600万元 [4] - 可扩展原位纳米分辨率三维无损检测系统预算为1850万元 [4] - 超高带宽示波器预算为1050万元 [5] - 非球差校正的场发射高分辨透射电镜预算为1000万元 [4] - 任意波形发生器预算为635万元 [5] 其他专项仪器设备采购 - 超高精度温控三轴转台预算为430万元 [4] - 多功能电路系统高频数据信号测试分析仪预算为376万元 [5] - 逻辑分析仪预算为300万元 [5] - 示波器预算为200万元 [5] - 小型热真空试验箱预算为235万元 [4] - 超高速摄像机预算为135万元 [4] - 高精度可编程电流源预算为114万元 [4] - 全光谱氙灯老化试验箱预算为110万元 [4] - 机械精研一体机预算为100万元 [4] - 冲击响应试验系统预算为100万元 [4] - 多功能高速信号测试系统预算为160万元 [5] - DH高加速度电动振动试验系统预算为140万元 [4] - 红外热像仪预算为60万元 [5]