行业报告 | 全球与中国晶圆加热器市场现状及未来发展趋势
QYResearch·2026-02-02 14:35

晶圆加热器行业概述 - 晶圆加热器是用于半导体晶圆制造过程中CVD、Etch等工艺环节的关键部件,为硅片提供一致热量,确保工艺稳定性和均匀性[2] - 加热器作为晶圆加工的载体和射频回路的下电极,位于工艺设备反应腔内,其温度均匀性直接决定薄膜沉积等工艺性能,其洁净度和放气性也至关重要[2] 全球市场规模与预测 - 2024年全球晶圆加热器市场销售额达9.82亿美元,预计2031年将增长至15.64亿美元,2025-2031年复合年增长率为6%[7] - 2024年中国大陆市场规模为1.5亿美元,占全球15.35%,预计2031年将达2.94亿美元,全球占比提升至18.83%[7] - 消费层面,北美和日本是2024年全球最大消费市场,分别占38.52%和21.96%份额,中国大陆和中国台湾分别占15.35%和12.64%[7] - 生产端,美国、韩国和日本是2024年三大重要生产地区,分别占31.7%、30.56%和20.2%市场份额[7] 市场增长驱动力 - 半导体设备投资增长是核心驱动力,SEMI预测2025年全球半导体设备销售额将创新高达1330亿美元,新机装机量扩张直接抬升真空腔室核心部件需求[11] - 先进工艺复杂度提升,如HBM4和高层数NAND需要更多刻蚀和沉积步骤,导致设备腔体数增加,进而带动加热器需求量[15] - 国家政策支持是第二驱动力,全球多地政府推动半导体供应链本土化,加大对设备、零件与材料的支持力度,为行业发展带来机遇[15] 产品与技术趋势 - 从产品类型看,陶瓷加热器占据重要地位,预计2031年份额将达到71.51%[9] - 未来晶圆加热器将逐步向陶瓷加热器发展,因陶瓷化学惰性强、杂质析出少,且热稳定性与均匀性更优,更适配先进制程的高要求[14] - 技术向配套化、多功能集成演进,从单体加热件向wafer support/pedestal/chuck等关键功能总成集成,需求在OEM随设备出货与存量替换之间切换[12] 区域市场动态 - 预计未来几年,中国大陆市场增长最快,2025-2031年期间复合年增长率约为8.27%[7] - 生产端预计未来几年中国将保持最快增速,预计2031年份额将达到10.45%[7] - SEMI预计2025年中国仍为全球最大半导体设备支出地区,叠加韩国、台湾在先进制程和存储的投资,本土关键部件交期与合规重要性上升[13] - 在此背景下,Fab厂与OEM推动关键部件本地化与双供策略,驱动国产供应商从“样件验证”向“稳定批量供货”爬坡[16] 行业竞争格局 - 全球核心厂商主要包括NGK Insulator、MiCo Ceramics、Watlow (CRC)、Mecaro、KSM Component、苏州珂玛材料科技股份有限公司和保富 BoBoo Hitech等[11] - 2024年,全球第一梯队厂商主要有NGK Insulator、MiCo Ceramics和Watlow (CRC),占有约56.13%市场份额[11] - 第二梯队厂商包括Mecaro、KSM Component、苏州珂玛材料科技股份有限公司等,共占有34.1%份额[11] 半导体行业长期机遇 - 半导体市场存在长期增长机遇,全球对创新半导体材料的需求显著增长,由指数级数据增长和自动驾驶、电动汽车、物联网、人工智能及5G等技术趋势驱动[21] - 半导体上游材料/设备零部件供应商将受益于对材料的高需求,尤其是驱动人工智能应用的芯片的需求[21]

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