双束电镜+AI:我国首套智能双束电镜系统发布
仪器信息网·2026-04-02 11:56
产品发布与核心突破 - 北京科学智能研究院、北京大学与深势科技于2026中关村论坛联合发布了首个国产智能双束电镜系统Hyper-FIB,标志着我国科学仪器与AI深度融合迈出关键一步[2] - 该系统将长期依赖专家手工操作的聚焦离子束双束电镜技术,带入高精度、高效率、智能化的“自动驾驶”时代[2] - 核心突破之一在于植入AI视觉,基于深度学习的语义分割技术,系统能自动识别样品区域特征并自动校准与追踪,无需人工盯屏找位置[4] - 核心突破之二在于物理模拟,团队自主构建了离子溅射物理模型,精确模拟能量-角度-溅射率、散射轨迹等核心物理过程,使AI的工艺决策从“凭空猜测”变为“科学推演”[5] - 通过在数字孪生空间进行虚拟优化并与现实实验结果对齐,实现了工艺参数的持续迭代,将依赖个人经验的操作转化为可学习、可复用、可持续优化的系统能力[6] 性能与效率提升 - Hyper-FIB系统将FIB制样时间缩短至60分钟内,并将成功率提升至超过90%,同时支持无人值守操作[1] - 该技术协同为FIB制样带来了更高效率、更高成功率和更强的一致性,被比喻为将设备从“手动挡”升级为“全自动智能导航”[6]