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半导体智检装备AX9600
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国产高端检测技术重大突破:日联科技实现160kV纳米级开管X射线源量产,打破海外垄断
证券时报网· 2025-10-13 11:58
公司技术突破与产品优势 - 公司UNOS系列160kV纳米级开放式X射线源正式实现量产,焦点尺寸仅0.8μm,最高管电压达160KV,并搭载数字化控制系统 [1] - 该产品解决了晶圆、先进封装、多层堆叠芯片等高端产品的高精度检测难题,其半导体智检装备AX9600采用该自研射线源,可精准检测多种封装缺陷和内部结构问题 [1] - 公司已实现90kV至180kV多型号微焦点射线源量产,覆盖全谱系产品,2025年上半年开管射线源及一体化大功率小焦点射线源已启动小批量出货 [3] 行业意义与市场格局 - 高性能纳米级开放式X射线源的独立研发与生产长期被依科视朗等海外企业垄断,公司实现首款国产纳米级开管射线源规模化量产,完成从技术追赶到全球并跑的跨越 [1] - 开管射线源凭借更小焦点尺寸、更高管电压及更大射线锥角,成为半导体先进制程和先进封装技术高精度检测的最优解 [2] - 2025年全球半导体产业收入预计增至8000亿美元,2030年全球半导体市场规模或将突破8.47万亿元,为国产检测设备提供广阔市场空间 [2] 政策支持与产业影响 - 国家政策将高端无损检测设备列为重点发展领域,并为工业CT、X射线检测系统等提供补贴与税收优惠 [3] - 国产开管射线源量产打破了海外技术垄断,降低国内厂商采购与维护成本,并为半导体产业链质量检测提供国产技术保障,维护供应链安全 [2] - X射线检测设备作为半导体产业链上游刚需,随国产替代加速迎来发展红利,公司推动国产设备在检测精度、稳定性上接近国际水平,逐步抢占高端市场 [3]