财务表现 - Q1营收82.06亿元，同比增长37.9% [2][3][7] - 归母净利润15.81亿元，同比增长38.8% [2][3][7] - 扣非净利润15.70亿元，同比增长44.75% [2][7] - 基本每股收益2.96元，同比增长37.89% [2][4] - 加权平均净资产收益率4.95%，同比提升0.39个百分点 [2] 技术突破与增长驱动 - 电容耦合等离子体刻蚀设备(CCP)、原子层沉积设备(ALD)、高端单片清洗机等新产品实现关键技术突破 [4][7] - 工艺覆盖度显著扩大，成熟产品市占率稳步提升 [4][7] - 规模效应显现，成本费用率下降推动净利润增速超营收增速 [4] - 研发费用10.26亿元，同比增加40.89%，占营收12.5% [7] - 开发支出期末余额63.68亿元，显示持续加码研发投入 [7] 现金流与存货风险 - 经营活动现金流净额-17.29亿元，同比下滑834.01%，主因采购支出增加 [2][5][7] - 存货规模252.11亿元，较2024年末增长6.67%，占总资产36.9% [5] - 存货规模远超行业平均水平，反映市场需求乐观预期但存周转及减值风险 [5] 资本结构与扩张 - 长期借款增加9.12亿元至48.58亿元，显示生产规模持续扩张 [5] - 总资产682.42亿元，较年初增长2.83% [7] - 归属于上市公司股东的所有者权益326.67亿元，较年初增长4.92% [7]