专利技术 - 江苏微导纳米科技股份有限公司近日公布"沉积系统"专利 该专利涉及一种用于提高镀膜均匀性的系统 [1] - 沉积系统包含设备主体 工艺腔体 电极组件 气电馈入件和射频模组等核心部件 [1] - 气电馈入件采用第一管路与多个均匀分布的第二管路协同设计 通过特定间距排列实现气电双导功能 [1] - 射频模组与管路系统通过线缆实现电导通 该结构设计能显著提升镀膜工艺的均匀性 [1] 技术优势 - 专利技术通过优化管路布局 使不同第二管路与第一管路保持相同距离 实现介质均匀分布 [1] - 系统采用气电同步馈入设计 同时满足工艺腔体的气体输送与电力传输需求 [1] - 该创新结构解决了传统沉积系统中镀膜均匀性不足的技术痛点 [1]