文章核心观点 - 维易科仪器公司宣布两个前沿逻辑客户选择其激光尖峰退火平台作为环绕栅节点新应用的量产工具，公司有望获得高产量制造订单 [1] 客户选择情况 - 两个前沿逻辑客户选择维易科的激光尖峰退火平台作为环绕栅节点新应用的量产工具，公司预计随着客户推进先进节点，将获得与这些合作相关的高产量制造订单 [1] 公司产品优势及意义 - 公司激光退火平台在新应用中的采用率不断提高，其LSA系统被广泛认为是低热预算应用的最佳退火解决方案，随着先进节点器件几何形状和性能要求的演变，该平台的精确退火变得愈发关键 [2] - 激光尖峰退火是前端半导体制造中使用的毫秒退火技术，可通过激活掺杂剂降低关键晶体管结构的电阻，公司LSA系统能在前沿节点先进器件的降低热预算范围内进行高温退火 [2] - 公司激光退火产品组合还包括NSA500系统，可将退火能力扩展到低热预算应用，这些退火步骤对确定所得器件的电气性能至关重要 [2] 公司简介 - 维易科是一家半导体工艺设备的创新制造商，其激光退火、离子束、单晶圆蚀刻与清洗、光刻和金属有机化学气相沉积等技术在先进半导体器件的制造和封装中发挥重要作用 [3]