业绩数据 - 报告期内反应腔出货超430个，截至期末设备反应腔累计出货超1940个，进入超70条生产线[2] - 截至期末，薄膜设备可支撑约100多种工艺应用，累计超180个新型反应腔获订单，超130个新型反应腔出货验证[4] - 截至期末，薄膜沉积设备在客户端产线生产产品累计流片量突破1.94亿片[6] - 报告期内公司研发投入31431.34万元，同比增加49.61%，研发投入占营业收入比例达24.81%[15] - 实施2023年度现金分红，派发现金红利65721678.05元（含税）[14] - 2024年回购资金总额12000 - 19730万元，成交总金额19727.29万元，回购股份1267894股[14] 用户数据 - 截至期末，薄膜沉积设备在客户端产线生产产品累计流片量突破1.94亿片[6] 未来展望 - 公司主打产品PECVD设备保持竞争优势，扩大量产规模[16] 新产品和新技术研发 - 公司拓展ALD设备薄膜种类及工艺应用，Thermal - ALD设备实现产业化应用并获订单[16] - 沟槽填充设备SACVD和HDPCVD批量出货，新设备实现产业化应用[16] - 公司对晶圆键合相关设备优化升级，自主研发的键合套准精度量测产品获订单[16] - 报告期内公司新增申请专利74项(含PCT)，截至报告期末累计申请专利1279项(含PCT)，累计获得专利402项[17] 其他新策略 - 报告期内开展供应商培训26次，开展供应商现场稽核18次[9] - 报告期内向697名激励对象授予300万股限制性股票，回购1267894股[11] - 公司持续完善知识产权管理体系，面向产品全生命周期关键节点进行专利挖掘布局[17] 人员与交流 - 截至期末，公司员工总数达1253人，报告期内累计开展培训超80次[10] - 截至报告期末公司研发人员506人，占公司员工总数的40.38%[18] - 报告期内公司通过平台举办3次投资者交流会/业绩说明会，与投资者交流超80次[19] - 报告期内独立董事参加3次股东大会、5次董事会等会议并召开1次专门会议[23]