份额方面，半导体产业ETF近半年份额增长3000.00万份，实现显著增长，新增份额位居可比基金1/2。 资金流入方面，半导体产业ETF最新资金流入流出持平。拉长时间看，近21个交易日内，合计"吸金"4266.62万元。 截至6月4日，半导体产业ETF近1年净值上涨33.93%，指数股票型基金排名246/2839，居于前8.67%。从收益能力看，截至2025年6月4日，半导体产业ETF自 成立以来，最高单月回报为20.82%，最长连涨月数为3个月，最长连涨涨幅为45.46%，涨跌月数比为7/6，上涨月份平均收益率为9.32%，历史持有1年盈利 概率为100.00%。截至2025年6月4日，半导体产业ETF成立以来超越基准年化收益为1.52%。 截至2025年5月30日，半导体产业ETF近1年夏普比率为1.11。 回撤方面，截至2025年6月4日，半导体产业ETF今年以来相对基准回撤0.48%。 费率方面，半导体产业ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。 截至2025年6月5日 13:02，中证半导体产业指数(931865)上涨0.18%，成分股拓荆科技(688072)上涨3.0 ...

拓荆科技(688072)6月3日召开2025年第一季度业绩说明会，公司董事长吕光泉，董事、总经理刘静，副 总经理、董事会秘书赵曦，财务负责人杨小强等对投资者普遍关注的问题进行回答。 拓荆科技是国内量产型PECVD(等离子体增强化学气相沉积)、ALD(原子层沉积)、SACVD(次常压化学 气相沉积)、HDPCVD(高密度等离子体增强化学气相沉积)、超高深宽比沟槽填充CVD等薄膜沉积设备 和混合键合设备的领军企业。 随着人工智能应用终端的发展，对半导体设备的性能需求和三维集成技术的要求越来越高，这也为半导 体设备行业带来新一轮的升级和增长机遇。与此同时，我国持续加大半导体产业的政策扶持和投入力 度，加速了国内半导体设备产业的发展，为国内设备厂商迎来了巨大的成长机遇。 公司目前仍聚焦薄膜沉积设备及应用于三维集成领域的先进键合设备和配套的量检测设备，在薄膜沉积 设备方面，公司持续紧跟行业趋势下游客户的需求，持续拓展更高产能、更高性能的产品，同时不断拓 展先进薄膜工艺的覆盖度，包括设备平台NF-300M及反应腔Supra-H产品、ALD金属及金属氧化物等产 品。在三维集成领域，公司致力于提供全套的解决方案，推进新一代晶 ...

证券代码：688072 证券简称：拓荆科技 公告编号：2025-032 拓荆科技股份有限公司 关于股东解除一致行动关系暨权益变动的提示性公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容 的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： ● 本次权益变动不涉及股东各方实际持股数量的增减，系公司股东解除一致行动关系所致，未触及要约 收购； ● 本次一致行动关系解除后，不会导致公司控股权、控制权发生变更，公司仍无控股股东、无实际控制 人，不会影响公司的经营情况； ● 本次权益变动未违反相关股东已作出的公开承诺。 2025年5月30日，拓荆科技股份有限公司（以下简称"公司"）收到CHIANG CHIEN（姜谦）与其一致行 动人吕光泉、LIU YIJUN（刘忆军）、LING FUHUA（凌复华）、WU BIAO（吴飚）、ZHOU REN （周仁）、SIAN CHE CYNTHIA CHANG（张先智）、CHANG HSIAO-YUNG（张孝勇）（以下合 称"8个自然人股东"），以及公司11个员工持股平台共青城芯鑫和投资合伙企业（有限合伙）（以下简 称"芯鑫和"） ...

拓荆科技股份有限公司 上市公司名称：拓荆科技股份有限公司 股票上市地点：上海证券交易所 股票简称：拓荆科技 股票代码：688072 信息披露义务人1：CHIANG CHIEN（姜谦） 住所/通讯地址：辽宁省沈阳市 信息披露义务人2：吕光泉 住所/通讯地址：辽宁省沈阳市 信息披露义务人3：LIU YIJUN（刘忆军） 住所/通讯地址：上海市 信息披露义务人4：LING FUHUA（凌复华） 住所/通讯地址：上海市 信息披露义务人5：WU BIAO（吴飚） 住所/通讯地址：北京市 信息披露义务人6：ZHOU REN（周仁） 住所/通讯地址：江苏省无锡市 信息披露义务人7：SIAN CHE CYNTHIA CHANG（张先智） 住所/通讯地址：辽宁省沈阳市 信息披露义务人8：CHANG HSIAO-YUNG（张孝勇） 住所/通讯地址：辽宁省沈阳市 信息披露义务人9：共青城芯鑫和投资合伙企业（有限合伙） 住所：江西省九江市共青城市基金小镇内 通讯地址：辽宁省沈阳市浑南区水家900号 信息披露义务人10：共青城芯鑫全投资合伙企业（有限合伙） 住所：江西省九江市共青城市基金小镇内 通讯地址：辽宁省沈阳市浑南区水家900号 ...

证券代码：688072 证券简称：拓荆科技 公告编号：2025-032 拓荆科技股份有限公司 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈 述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： ? 本次权益变动不涉及股东各方实际持股数量的增减，系公司股东解除一 致行动关系所致，未触及要约收购； ? 本次一致行动关系解除后，不会导致公司控股权、控制权发生变更，公 司仍无控股股东、无实际控制人，不会影响公司的经营情况； ? 本次权益变动未违反相关股东已作出的公开承诺。 CHIANG CHIEN（姜谦）与其一致行动人吕光泉、LIU YIJUN（刘忆军）、 LING FUHUA（凌复华）、WU BIAO（吴飚）、ZHOU REN（周仁）、SIAN CHE CYNTHIA CHANG（张先智）、CHANG HSIAO-YUNG（张孝勇）（以下 合称"8个自然人股东"），以及公司11个员工持股平台共青城芯鑫和投资合伙 企业（有限合伙）（以下简称"芯鑫和"）、共青城芯鑫全投资合伙企业（有 限合伙）（以下简称"芯鑫全"）、共青城芯鑫龙投资合伙企业（有限合伙） （以下简称"芯 ...

拓荆科技股份有限公司 简式权益变动报告书 上市公司名称：拓荆科技股份有限公司 信息披露义务人1：CHIANG CHIEN（姜谦） 信息披露义务人3：LIU YIJUN（刘忆军） 住所/通讯地址：上海市 信息披露义务人4：LING FUHUA（凌复华） 住所/通讯地址：上海市 信息披露义务人5：WU BIAO（吴飚） 住所/通讯地址：辽宁省沈阳市 信息披露义务人2：吕光泉 住所/通讯地址：辽宁省沈阳市 住所/通讯地址：北京市 股票上市地点：上海证券交易所 股票简称：拓荆科技 股票代码：688072 信息披露义务人6：ZHOU REN（周仁） 住所/通讯地址：江苏省无锡市 信息披露义务人7：SIAN CHE CYNTHIA CHANG（张先智） 住所/通讯地址：辽宁省沈阳市 信息披露义务人8：CHANG HSIAO-YUNG（张孝勇） 住所/通讯地址：辽宁省沈阳市 信息披露义务人9：共青城芯鑫和投资合伙企业（有限合伙） 住所：江西省九江市共青城市基金小镇内 通讯地址：辽宁省沈阳市浑南区水家900号 信息披露义务人10：共青城芯鑫全投资合伙企业（有限合伙） 住所：江西省九江市共青城市基金小镇内 通讯地址：辽宁省沈阳 ...

证券代码：688072 证券简称：拓荆科技 公告编号：2025-032 拓荆科技股份有限公司 关于股东解除一致行动关系暨权益变动的提示性公告 1、一致行动关系的形成情况 2014 年 5 月 27 日，刘忆军、凌复华、张先智、张孝勇、沈阳盛腾、沈阳盛 旺、沈阳盛全、沈阳盛龙与姜谦签署了《一致行动协议书》；2015 年 4 月 20 日， 吕光泉、刘忆军、凌复华、吴飚、周仁、张先智、张孝勇、沈阳盛腾、沈阳盛旺、 沈阳盛全、沈阳盛龙与姜谦签署了《<一致行动协议书>之补充协议》。根据前述 协议约定，吕光泉、刘忆军、凌复华、吴飚、周仁、张先智、张孝勇、沈阳盛腾、 沈阳盛旺、沈阳盛全、沈阳盛龙与姜谦因此形成一致行动关系，在公司董事会、 股东会/大会上行使表决权、提案权、董事监事候选人提名权等权利时，无条件 且不可撤销地遵从姜谦的意见，与姜谦做出相同的意思表示；一致行动的有效期 至各协议签署方协商一致解除之日止。 2019 年 12 月 18 日，吕光泉、刘忆军、凌复华、吴飚、周仁、张先智、张孝 勇与姜谦签署《表决权委托协议》，约定除姜谦以外的其他自然人将其所持公司 的表决权等股东权利委托姜谦行使。 本公司董事会及全体董 ...

纪要涉及的公司 拓荆科技[1] 纪要提到的核心观点和论据 - **核心观点1：公司产品表现优异巩固市场地位** - 论据：ALD系列设备国内工艺覆盖率领先，多款新工艺设备获重复订单并持续扩产，销售收入创新高；HDP CVD及SACVD系列产品通过验证后逐步放量，新推出的flowable CVD系列实现首台产业化应用并获复购订单；3D集成领域推出多款先进键合及配套量检测设备并在客户端量产[2] - **核心观点2：2024年营业收入大幅增长** - 论据：同比增长51.70%，原因是持续拓展产品布局，加快产品迭代推出有竞争力新产品，业务规模扩大；PECVD系列保持优势扩大量产，ALD系列获重复订单出货，HDP CVD及SACVD系列放量，flowable CVD系列实现产业化应用，3D集成领域新产品量产[3] - **核心观点3：2024年经营性现金流改善** - 论据：经营活动产生的现金流量净额为 -2.83亿元，同比大幅收窄，得益于销售商品和提供劳务收到的现金同比增长94.44%，合同负债期末达29.8亿元，同比增长115.90%；经营性现金净流量逐季度环比改善，第四季度单季度经营性现金流转正，达7.16亿元[2][4] - **核心观点4：新产品将在未来2 - 3年贡献成长动力** - 论据：2024年推出十余款新产品和新工艺，包括薄膜沉积设备及3D集成领域先进键合设备等，且已大量出货[2][5] 其他重要但是可能被忽略的内容 无

作为国产薄膜沉积设备龙头，拓荆科技(688072)受益于国内下游晶圆制造厂对国内半导体设备的需求增 加，营业收入维持高增长趋势。在5月27日2025年第一季度业绩说明会上，公司高管表示，目前公司在 手订单充足，今年整体经营性趋势非常健康，并将拓展海外市场。 据介绍，拓荆科技通过在薄膜沉积设备及三维集成领域的先进键合设备及配套的量检测设备的技术积累 和快速发展，拓荆科技较国内竞争对手形成显著先发优势，已经成为国内半导体设备行业的领军企业。 其中，在应用于三维集成领域的先进键合设备及配套量检测设备方面，去年公司实现产品销售收入 9566.85万元，同比增长48.78%，应用于晶圆对晶圆混合键合设备、芯片对晶圆键合前表面预处理设备 获得重复订单并扩大产业化应用，新推出的键合套准精度量测设备及键合强度检测设备通过客户验证。 去年拓荆科技研发投入就达到7.56亿元；今年一季度，拓荆科技研发投入合计1.57亿元，在营业收入占 比达到22.38%，占比在国内半导体设备上市公司中居前。 2024年，公司自主研发并推出了10余款新产品/新工艺设备，包括Flowable CVD(流动性化学气相沉 积)、PECVD Bianca、 ...

证券代码：688072 证券简称：拓荆科技 公告编号：2025-031 拓荆科技股份有限公司 关于召开 2025 年第一季度业绩说明会的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈 述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： ? 会议召开时间：2025 年 6 月 3 日（星期二）13:00-14:00 ? 会议召开地点：上海证券交易所上证路演中心（网址： https://roadshow.sseinfo.com/） ? 会议召开方式：上证路演中心网络文字互动问答 ? 投资者可于 2025 年 5 月 26 日（星期一）至 5 月 30 日（星期五）16:00 前登录上证路演中心网站首页点击"提问预征集"栏目或通过公司邮箱 （二）会议召开地点：上证路演中心（http://roadshow.sseinfo.com/） （三）会议召开方式：上证路演中心网络文字互动问答 三、参加人员 公司参加本次说明会的人员包括：公司董事长吕光泉先生，董事、总经理刘 静女士，独立董事黄宏彬先生，副总经理、董事会秘书赵曦女士，财务负责人杨 小强先生（如有特殊情况，参 ...