证券代码：688120 证券简称：华海清科 公告编号：2023-053 华海清科股份有限公司 关于 12 英寸单片终端清洗机出货的自愿性披露公告 一、 产品基本信息 近日，公司首台 12 英寸单片终端清洗机 HSC-F3400 机台出机发往国内大硅 片龙头企业。 HSC-F3400 机型是公司面向大硅片终端清洗市场特殊需求研发的一款高性 能设备，该机型配备了新型清洗模块、干燥模块及颗粒与金属污染控制系统，可 稳定实现大硅片正面及背面的高效率超洁净清洗。机台搭载的高性能卡盘夹持技 术，确保晶圆稳定高速运转，在产能优势明显的同时，具备安全性高、工艺调整 灵活、可靠性强的特点，能够以较高使用寿命满足低成本运维需求。 二、 对公司的影响 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示 近日，华海清科股份有限公司（以下简称"公司"）首台 12 英寸单片终 端清洗机 HSC-F3400 机台出机发往国内大硅片龙头企业。 HSC-F3400 机型配备了新型清洗模块、干燥模块及颗粒与金属污染控制 系统，可稳定实现大硅片正面及 ...