和远气体:关于宜昌电子特气及功能性材料产业园项目的进展公告
项目建设 - 宜昌电子特气及功能性材料产业园占地880亩分两期建设[3] 产品生产 - 2023年3月投资4883万扩建5000吨/年电子级硅烷项目[5] - 2023年5月80000吨/年光伏级三氯氢硅装置具备试生产条件[5] - 2024年2月5000吨/年电子级硅烷开始试生产[5] - 近日500吨/年三氟化氮具备试生产条件[6] 技术研发 - 500吨/年三氟化氮生产工艺自主研发设计[7]
项目建设 - 宜昌电子特气及功能性材料产业园占地880亩分两期建设[3] 产品生产 - 2023年3月投资4883万扩建5000吨/年电子级硅烷项目[5] - 2023年5月80000吨/年光伏级三氯氢硅装置具备试生产条件[5] - 2024年2月5000吨/年电子级硅烷开始试生产[5] - 近日500吨/年三氟化氮具备试生产条件[6] 技术研发 - 500吨/年三氟化氮生产工艺自主研发设计[7]