鼎龙股份:关于公司抛光液产品获得国内主流晶圆厂客户订单的公告
多晶硅(Poly-Si)与氮化硅(SiN)复合结构整合工艺是芯片器件制造流程中 的关键,而平坦化制程更是重中之重,所使用的多晶硅抛光液(Poly slurry) 技术 难度相当高。截至目前,公司是某主流芯片制造大厂多晶硅制程抛光液产品通过 验证的唯一国内供应商,其难点在于抛光液中的核心原材料研磨粒子难以自主化 改良。公司抛光液团队自去年开始与该客户合作,针对芯片器件结构微观尺寸差 异,自主合成定制化的研磨粒子,经过与客户紧密的技术配合,实现量产线验证 通过。此次合作是公司在该主流客户首张单笔超过 500 万元的 CMP 抛光液订单, 标志着鼎龙抛光液产品达到行业一流水平,获得客户认可。 目前,公司其他各制程 CMP 抛光液产品覆盖全国多家客户进入关键验证阶 段,部分重点型号产品有望在今年下半年导入客户。产能方面,武汉本部工厂一 期年产 5000 吨全自动化抛光液生产线能够满足客户端现期订单需求,仙桃年产 2 万吨 CMP 抛光液扩产项目及研磨粒子配套扩产项目预计于今年第四季度全面 竣工,开始试生产供应,为后期持续稳定放量奠定基础。 上述订单的执行对公司的业务独立性不构成影响,公司主要业务不会因订单 的执行而对 ...