资金募集 - 2021年4月向特定对象发行22,732,486股普通股，募资79,199.98万元，净额78,753.97万元[3] 资金用途变更 - 2024年3月同意变更“集成电路制造用高端光刻胶研发、产业化项目”部分募集资金用途[3] 资金监管 - 与宁波银行上海松江支行及天风证券重新签订《募集资金三方监管协议》[5] - 截至2024年6月28日，“ArF浸没式光刻胶研发项目”专户余额16,500.00万元[7] - 丙方每半年对募集资金存放和使用情况现场检查[8] - 乙方按月出具对账单并抄送丙方[9] - 公司支取超5,000.00万元或净额20%，乙方通知丙方[9] - 丙方有权更换保荐代表人[9] - 乙方三次未及时出具对账单，公司可终止协议注销专户[9] - 协议至专户资金全支出且丙方督导期结束失效[10]