募集资金情况 - 2019年首次公开发行股票应募集资金总额为5.6637亿元，实际募集资金净额为5.0574410378亿元[2] - 2022年向特定对象发行股票募集资金总额为9.9999992871亿元，实际募集资金净额为9.9008483504亿元[3] 资金使用情况 - 2024年度，2019年首次公开发行股票募集资金累计使用4830.916024万元，专用账户2024年12月31日余额为570.839823万元[5] - 2024年度，2021年度向特定对象发行A股股票募集资金累计使用8285.844815万元，专用账户2024年12月31日余额为2.4112989353亿元[6] 项目投入情况 - 截至2024年12月31日，2019年首次公开发行股票募集资金对高端晶圆处理设备产业化项目投入2.4813362156亿元，研发中心项目投入1.391824亿元[5] - 截至2024年12月31日，2021年度向特定对象发行A股股票募集资金对临港研发及产业化项目投入4.721468529亿元，高端晶圆处理设备产业化项目（二期）投入347.749724万元，补充流动资金项目投入3.0281204744亿元[7] 资金管理情况 - 2022 - 2024年，公司分别获批使用不超过70000万元、50000万元、30000万元2021年度向特定对象发行股票闲置募集资金进行现金管理[20][21][22] - 2020 - 2024年，公司三次使用3830万元超募资金永久补充流动资金[23][24][25] 项目变更情况 - 2020年4月24日，公司将“高端晶圆处理设备产业化项目”实施地点变更[31] - 2021年3月19日，公司将“高端晶圆处理设备研发中心项目”和“高端晶圆处理设备产业化项目”达到预定可使用状态时间调整[32] 项目效益情况 - 高端晶圆处理设备产业化项目本年度实现效益13,747.90万元[41] 项目结项情况 - “高端晶圆处理设备产业化项目”和“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，节余募集资金928.47万元[45] - 上海临港研发及产业化项目结项，节余募集资金1067.96万元[51]