资金募集 - 2021年4月向特定对象发行26480245股，发行价94.41元/股，募资249999.99万元，净额248120.04万元[1] 资金余额 - 截至2025年6月30日，募集资金账户余额78779.62万元，含闲置资金转出60000万元[2] 项目投入 - 超高效太阳能电池装备产业化项目累计投入106762.78万元，进度80.08%[4] - 泛半导体装备产业化项目累计投入84434.43万元，进度84.54%，已结项[4] - 二合一透明导电膜设备产业化项目累计投入22328.35万元，进度66.77%[4] - 第三代半导体装备研发项目累计投入4839.09万元，进度7.49%[4] - 补充流动资金项目累计投入51032.06万元，进度101.09%[4] 项目调整 - 二合一透明导电膜设备产业化项目拟增建设投资10275万元[8] - 第三代半导体装备研发项目拟增建设投资4750万元[10] - 2025年7月23日审议通过调整部分募投项目内部投资结构议案[1][11]