募集资金情况 - 公司首次公开发行31,619,800股A股，发行价每股71.88元，募集资金总额227,283.12万元，净额212,759.73万元[3] - 募集资金投资项目总额100,029.65万元，超募资金112,730.08万元[12] 项目资金投入 - 上海二厂项目调整后超募资金承诺投资总额88,000.00万元，投入69,367.11万元，待支付13,289.85万元，利息收入净额3,222.20万元，预计节余8,565.24万元[9] - 2024年调减上海二厂项目5,000.00万元超募资金投入高端半导体设备产业化基地建设项目[13] - 2024年公司使用1,826.60万元超募资金用于高端半导体设备产业化基地建设项目[13] 资金使用与安排 - 2024年度公司使用19,727.29万元超募资金回购公司股份[6] - 截至2025年8月14日公司剩余超募资金61.18万元[14] - 公司拟将61.18万元剩余超募资金永久补充流动资金[15] - 超募资金投资项目“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”结项，节余和剩余资金拟永久补充流动资金[22] 审批与承诺 - 2025年8月25日，公司董事会和监事会审议通过超募资金相关议案[22] - 超募资金用于永久补充流动资金事项尚需提交股东大会审议[22] - 公司承诺每12个月内累计使用超募资金补充流动资金不超总额30%[20] - 保荐机构对超募资金结项及补充流动资金事项无异议[23]