沈阳芯源微电子设备股份有限公司 2025 年度"提质增效重回报"行动方案的半年度评估 报告 为践行以"投资者为本"的发展理念，维护公司全体股东利益，基于对公司 未来发展前景的信心、对公司价值的认可以及切实履行社会责任，沈阳芯源微电 子设备股份有限公司（以下简称"公司"）于 2025 年 4 月 26 日发布了《沈阳芯 源微电子设备股份有限公司 2025 年度"提质增效重回报"行动方案》（以下简称 《行动方案》）。公司根据《行动方案》内容，积极开展和落实各项工作，现将 2025 年上半年的主要工作成果报告如下： 一、聚焦经营主业，持续巩固和增强核心竞争力 自成立以来，公司始终专注于半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包 括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，广泛应用于国内各大晶圆厂、先进 封装厂、化合物半导体等厂商。作为国内涂胶显影设备细分领域龙头企业，产品 涵盖 offline、I-line、KrF、ArF 浸没式等多种工艺类型。 2025 年上半年，公司继续提升研发力度，在前道涂胶显影、高端封装涂胶 显影、前道化学清洗、后道键合品类等多个业务板块及核心零部件方面持续加大 研发投入，产品综合竞争力持续提升 ...