募资情况 - 公司向特定对象发行股票10,305,736股，募资总额299,999,974.96元，净额296,056,578.74元[1] 项目投资 - 集成电路刻蚀设备用硅材料扩产项目总投资30,879.19万元，拟投入募资21,000万元[5] - 补充流动资金项目总投资9,000万元，拟投入募资9,000万元[5] 现金管理 - 公司拟用不超11,000万元闲置募资现金管理，期限不超12个月[7] - 拟购保本型理财产品，决议有效期12个月[8][9]