业绩总结 - 2025年9月26日发行A股38,601,326股，募资44.82亿，净额44.35亿[2] 募投项目 - 研发和工艺测试平台拟投9.4亿，用募资9.2亿[6] - 高端半导体设备迭代拟投22.55亿，调整后用募资22.08亿[6] - 补充流动资金拟投13.04亿，用募资13.04亿[6] 资金使用 - 用自有资金支付募投款项后6个月内划拨置换[8] - 2025年10月董事会通过自有资金支付并置换议案[12] - 保荐机构对置换事项无异议[13]