新产品和新技术研发 - 佛山芯慧联拟投入21860万元参与开发大世代干法刻蚀装备[2] - 2025年11月17日会议审议通过合作研发项目议案[3] 风险 - 合作研发项目面临研发不达预期、终止、成果转化失败等风险[2][16]