募集资金情况 - 2020年12月23日非公开发行47,749,661股，发行价28.79元/股，募集资金13.75亿元，净额13.55亿元[1] - 截至2025年12月31日，以前年度已使用13.54亿元，本年度使用2.15亿元，暂时补流8000万元，期末余额27.06万元[4] - 2024年10月29日临时补流2.9亿元，2025年10月28日归还；2025年10月30日临时补流8000万元，12月16日归还350万元[13] - 2020年非公开发行股票募集资金总额135,571.27万元，本年度投入21,477.81万元，累计投入128,075.01万元[28] 项目变更情况 - 2023年12月将“半导体晶圆再生二期项目”变更为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”[8][35] - 2022年4月将“光电子材料及器件制造基地建设项目”实施主体变更为天津波汇，科谱半导体后续出售[9] 项目投入情况 - 半导体湿法清洗设备扩产项目承诺投资25,500.00万元，累计投入19,859.84万元，投入进度100.00%[28] - 半导体晶圆再生二期项目原承诺投资59,000.00万元，调整后为2,293.21万元，累计投入2,293.21万元，投入进度100.00%[28] - 单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目承诺投资36,202.88万元，本年度投入21,477.81万元，累计投入28,533.42万元，投入进度78.82%[28][35] - 光电子材料及器件制造基地建设项目承诺投资46,000.00万元，累计投入28,080.88万元，投入进度100.00%，本年度实现效益590.93万元[28] - 补充流动资金或偿还债务承诺投资55,500.00万元，累计投入40,461.01万元，投入进度99.66%[28] 节余资金情况 - 半导体湿法清洗设备扩产项目产生节余募集资金5,746.98万元，因采购成本控制节约超20%[29] - 光电子材料及器件制造基地建设项目产生节余募集资金3,095.77万元，因资金合理使用、支付周期及利息收入[29] - 剩余募集资金永久补充流动资金8,846.65万元[28][31] 其他情况 - 公司制定《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理办法》并采用专户存储制度[5] - 截至2025年12月31日，六个募集资金专户中五个已注销，一个使用中，余额27.06万元[8] - 报告期内公司未进行募集资金投资项目先期投入及置换[12] - 公司不存在用闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品的情况[14] - 公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款、用于在建项目及新项目、节余募集资金使用等情况[15][16][17] - 项目预计2026年11月达到预定可使用状态[35]