募集资金情况 - 公司非公开发行4774.97万股，每股发行价28.79元，募集资金总额137471.27万元，净额135452.81万元[1] - 2025年公司已使用募集资金21477.81万元[2] - 截至2025年12月31日，报告期期末募集资金余额27.06万元[4] - 2024年10月29日同意将不超29000万元闲置募集资金暂时补充流动资金，2025年10月28日全部归还[13] - 2025年10月30日同意将不超8000万元闲置募集资金暂时补充流动资金，截至12月31日已归还350万元，未归还7650万元[13] 项目投资情况 - “半导体湿法清洗设备扩产项目”承诺投资25500.00万元，截至期末累计投入19859.84万元，投入进度100.00%[29] - “半导体晶圆再生二期项目”承诺投资59000.00万元，调整后投资2293.21万元，截至期末累计投入2293.21万元，投入进度100.00%[29] - “单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”调整后投资36202.88万元，本年度投入21477.81万元，截至期末累计投入28533.42万元，投入进度78.82%[29] - “光电子材料及器件制造基地建设项目”承诺投资46000.00万元，调整后投资31000.00万元，截至期末累计投入28080.88万元，投入进度100.00%，本年度实现效益590.93万元[29] - “补充流动资金或偿还债务”承诺投资55500.00万元，调整后投资40600.00万元，截至期末累计投入40461.01万元，投入进度99.66%[29] 项目变更情况 - 2023年12月7日公司审议通过将“半导体湿法清洗设备扩产项目”节余资金永久补流，“半导体晶圆再生二期项目”变更为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”[18] - 因外部国际环境、产业背景及市场竞争等因素，公司将“半导体晶圆再生二期项目”变更为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”[5] 其他情况 - 公司制定《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理办法》，采用专户存储制度[5] - 截至2025年12月31日，仅兴业银行上海卢湾支行账户216120100100259971有余额27.06万元且在使用中，其他账户已注销或出售[8] - 本年度公司不存在用募集资金置换已投入募投项目自筹资金的情况[12] - 本年度公司不存在对闲置募集资金进行现金管理的情况[14] - 公司不存在超募资金、节余募集资金使用及募集资金使用的其他情况[15][16][17] - 保荐机构对公司2025年度募集资金存放和使用情况无异议[22] - “半导体湿法清洗设备扩产项目”产生节余募集资金5746.98万元，“设备购置及安装”项目实际投入比计划节约约超20%[1] - “光电子材料及器件制造基地建设项目”产生节余募集资金3095.77万元[1] - 剩余募集资金8846.65万元永久补充流动资金[30]