募集资金 - 公司向特定对象发行10650400股，发行价181.01元/股，募资总额1927828904元，净额1905349086.37元[1] - 募投项目总投资212182.90万元，拟用募集资金192782.90万元[4] 资金置换 - 拟置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金67806407.67元，募投65875384.69元，发行费用1931022.98元[1][13][15] 项目投资 - 年产5100个集成电路设备用静电吸盘产业化项目总投资109790万元，已预先投入30915552.45元[4][6] - 年产12300个超大规模集成电路用超高纯金属溅射靶材产业化项目总投资35000万元，已预先投入34959832.24元[4][7] - 上海江丰电子研发及技术服务中心项目总投资9992.90万元，补充流动资金及偿还借款项目总投资57400万元，均无预先投入[4][7] 发行费用 - 募集资金各项发行费用合计（不含税）22479817.63元，承销费用14004040.15元已扣除[8] - 截至2026年6月5日，已用自筹资金支付发行费用1931022.98元，拟置换[8] - 承销及保荐、发行人律师、材料制作费已预先支付943396.23元、961211.66元、26415.09元[9] 各方意见 - 公司本次募集资金置换符合规定，不影响项目实施，未变相改变用途[10] - 立信会计师认为专项说明如实反映情况[16] - 保荐人认为置换事项已通过审议程序，时间距到账未超6个月，无异议[17][18]