资金情况 - 2023年募资总额109,923.25万元，净额98,656.46万元[6][7] - 截至2026年6月30日超募资金38,656.46万元[8] - 拟用不超3亿闲置募资现金管理，超募及孳息不超2亿[2][5][10] 资金使用 - 期限自2026年7月26日起12个月，可循环用[5][10] - 2026年7月24日董事会通过现金管理议案[2][10] - 保荐机构同意现金管理事项[2][10][14] - 投资安全性高、保本、单项期限不超12个月产品[2][9] 研发项目 - 新一代显示器件检测设备投入进度53.60%，2028年2月可用[8] - 新一代半导体存储设备投入进度100.41%，2026年8月可用[8] - 先进封装设备投入进度38.58%，2028年5月可用[8]