财务数据关键指标变化：收入和利润 - 营业收入为16.08亿元人民币，同比增长5.25%[24] - 归属于上市公司股东的净利润为3931.87万元人民币，同比下降46.68%[24] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为1951.59万元人民币，同比下降71.34%[24] - 基本每股收益为0.103元/股，同比下降46.63%[25] - 稀释每股收益为0.103元/股，同比下降46.63%[25] - 扣除非经常性损益后的基本每股收益为0.051元/股，同比下降71.35%[25] - 加权平均净资产收益率为0.81%，同比下降0.69个百分点[25] - 扣除股份支付影响后净利润为3931.87万元，较上年同期7535.06万元下降47.82%[30] - 营业总收入从15.28亿元增至16.08亿元，增长5.25%[157] - 净利润为1042.75万元人民币，同比下降76.2%[158] - 归属于母公司股东的净利润为3931.87万元人民币，同比下降46.7%[158] - 基本每股收益0.103元/股，同比下降46.6%[159] - 母公司净利润亏损737.95万元人民币，去年同期盈利1.59亿元[162] - 公司本期综合收益总额为6829.61万元人民币[176] - 母公司综合收益总额减少737.95万元人民币[180] - 本期综合收益总额为159,348,843.12元[182] 财务数据关键指标变化：成本和费用 - 营业成本上升至11.25亿元人民币，同比增长12.05%，主要因国内供应链开发带来额外支出[84][85] - 销售费用增至5319.06万元人民币，同比上升20.17%，反映业务扩张投入[84][85] - 研发费用达1.18亿元人民币，同比增长17.59%，持续加强半导体技术投入[84][85] - 营业成本从10.04亿元增至11.25亿元，增长12.05%[157] - 销售费用从0.44亿元增至0.53亿元，增长20.17%[157] - 管理费用从1.85亿元增至1.96亿元，增长6.07%[157] - 研发费用为1.18亿元人民币，同比增长17.6%[158] - 财务费用为9454.21万元人民币，同比下降11.8%[158] - 利息费用为1.04亿元人民币，同比增长11.3%[158] - 支付的各项税费同比下降16.70%至8769万元[164] 财务数据关键指标变化：现金流量 - 经营活动产生的现金流量净额为-5.63亿元人民币[24] - 经营活动现金流量净流出5.63亿元人民币，与去年同期基本持平[84][85] - 销售商品提供劳务收到的现金同比增长6.45%至15.24亿元[164] - 经营活动产生的现金流量净额同比恶化10.65%至-5.63亿元[164] - 投资活动现金流出同比减少32.46%至2.31亿元[166] - 筹资活动现金流入同比增长21.44%至31.50亿元[166] - 期末现金及现金等价物余额同比增长87.25%至7.67亿元[166] - 母公司经营活动现金流量净额改善548.78%至4640万元[168] - 母公司投资支付的现金同比减少57.86%至6716万元[168] - 母公司取得借款收到的现金同比增长28.12%至11.95亿元[168] - 购建固定资产无形资产支付的现金同比减少35.34%至2.11亿元[166] 财务数据关键指标变化：资产和负债 - 总资产为145.80亿元人民币，同比增长7.41%[24] - 归属于上市公司股东的净资产为50.13亿元人民币，同比增长3.78%[24] - 预付款项大幅增长82.87%至6.14亿元人民币，因订单执行预付采购款增加[87] - 投资性房地产增加75.49%至7.76亿元人民币，因自有房产转为出租用途[87] - 合同负债上升58.35%至5.18亿元人民币，显示在手订单预收款增长[87] - 货币资金从87.05亿元人民币增长至96.19亿元人民币，增幅10.5%[150] - 应收账款从28.34亿元人民币增至30.56亿元人民币，增长7.8%[150] - 存货从31.18亿元人民币增至33.93亿元人民币，增长8.8%[150] - 预付款项从3.36亿元人民币大幅增至6.14亿元人民币，增幅82.8%[150] - 短期借款从30.73亿元人民币增至35.09亿元人民币，增长14.2%[151] - 合同负债从3.27亿元人民币增至5.18亿元人民币，增长58.4%[151] - 总资产从135.74亿元人民币增至145.80亿元人民币，增长7.4%[151] - 归属于母公司所有者权益从48.31亿元人民币增至50.13亿元人民币，增长3.8%[152] - 公司总资产从780.07亿元增至839.97亿元，增长7.68%[154][155] - 货币资金从2.91亿元增至3.09亿元，增长5.88%[153] - 应收账款从14.81亿元降至12.51亿元，下降15.53%[153] - 预付款项从4.68亿元增至9.06亿元，增长93.58%[153] - 短期借款从12.64亿元增至14.56亿元，增长15.13%[154] - 应付账款从6.47亿元增至10.25亿元，增长58.42%[154] - 公司2025年上半年所有者权益合计增加2.84亿元人民币至49.27亿元，较期初增长6.1%[171] - 归属于母公司所有者权益增长1.82亿元至48.31亿元，增幅3.8%[171] - 未分配利润增加7109.7万元至12.31亿元，增幅5.8%[171] - 其他综合收益减少3982.4万元至1.44亿元，降幅27.7%[171] - 少数股东权益大幅增加1.01亿元至1.96亿元，增幅105.5%[171] - 资本公积增加1.39亿元至30.64亿元，增幅4.5%[171] - 库存股减少1461.6万元至1.26亿元，降幅10.4%[171] - 实收资本减少260.4万元至3.86亿元，降幅0.7%[171] - 2024年上半年所有者权益合计增加4255.9万元至50.66亿元，增幅0.8%[173] - 2024年未分配利润增加7374.3万元至13.16亿元，增幅5.6%[173] - 公司本期期末所有者权益总额为52.11亿元人民币[174] - 所有者投入和减少资本总额为589.70万元人民币[176] - 其中所有者投入的普通股为413.68万元人民币[176] - 股份支付计入所有者权益的金额为176.02万元人民币[176] - 公司上年期末母公司所有者权益余额为40.48亿元人民币[180] - 母公司本年期初余额为40.48亿元人民币[180] - 母公司本期所有者权益减少7719.23万元人民币[180] - 母公司其他权益变动导致减少6937.65万元人民币[180] - 公司本年期初所有者权益总额为3,861,337,077.52元[182] - 所有者投入资本增加5,863,573.88元（其中普通股投入4,136,832.00元，股份支付1,726,741.88元）[182] - 本期所有者权益增加165,212,417.00元，增幅4.28%[182][183] - 期末所有者权益总额达4,026,549,494.52元[183] 非经常性损益 - 非经常性损益净额1980.28万元，主要包括政府补助1242.89万元、投资性房地产公允价值变动收益2194.74万元及债务重组损失1833.95万元[28] - 政府补助金额达1242.89万元，占非经常性收益重要组成部分[28] - 投资性房地产公允价值变动产生收益2194.74万元，显著贡献非经常性损益[28] - 金融资产公允价值变动及处置收益956.11万元[28] - 债务重组导致损失1833.95万元[28] - 非流动性资产处置损失179.73万元[28] - 单独减值测试应收款项转回142.64万元[28] - 私募基金投资公允价值变动收益922.67万元人民币，期末价值2.49亿元人民币[93] - 公允价值变动收益3117.41万元人民币，去年同期为亏损296.23万元[158] - 投资收益亏损1829.36万元人民币，同比扩大400.4%[158] 业务表现：半导体技术及设备 - 公司半导体业务涉及Fin FET、FIN ETCH、FIN ETCH CLEAN等先进制程工艺技术[14] - 公司清洗技术用于半导体制造原材料及半成品杂质处理[14] - 公司旗下至微科技湿法设备在28纳米节点开发全部完成且全工艺机台均有订单[41] - 高温硫酸SPM设备单机累计产量超过90万片次[41] - S300-D湿法设备平台WPH（每小时处理晶圆数量）提升30%[42] - 单片SPM清洗设备可实现40纳米以下少于20个剩余颗粒处理[42] - 硫酸回收系统最高可实现80%以上硫酸回收率[42] - 单片硫酸回收系统单台每年可为用户节省160~180万美元硫酸费用[42] - 单片磷酸清洗机台可实现40纳米少于30个剩余颗粒处理且蚀刻选择比大于50[43] - 晶背清洗设备可实现40纳米少于10个剩余颗粒处理且金属污染控制在1E+9原子/平方厘米以内[44] - S300D设备采用3 chamber架构且整体体积压缩到90L[45] - 超薄片清洗设备破片率小于1/10000[46] - 高纯工艺系统实现ppb级（十亿分之一）不纯物控制[51] - 高纯工艺系统实现ppb级不纯物控制[73] - 是国内能提供28纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商，在更先进工艺节点取得设备验证订单[74] - 业务组合已为头部客户提供湿法设备、高纯特气设备、化学品设备、前驱体设备、研磨液设备、大宗气供应等产品[77] 业务表现：市场及客户 - 公司关联客户包括中芯国际、华虹公司、长江存储等头部晶圆厂[13] - 公司80%业务集中于半导体行业，覆盖晶圆厂全生命周期产品服务[35] - 中国大陆12寸晶圆厂特气中标市占率达48.8%[49] - 化学品设备及系统市占率超30%[49] - 自主品牌SAFETRON®业务量占系统集成总量近40%[50] - 系统集成及支持设备服务覆盖41次中国大陆晶圆厂中标项目[49] - 公司收入中来自集成电路行业客户占比为87.46%[62] - 中国大陆主流12寸晶圆厂特气中标市占率达48.8%，化学品设备及系统市占率超过30%[73] - 电子及通信设备制造业增长12.7%，其中集成电路制造增长21.2%[34] 业务表现：生产及供应能力 - 启东制造基地支持设备年产能超2万台套[50] - 2017年至今出货高纯特气及化学品设备超4.2万台[50] - 首座国产化12英寸28纳米大宗气体工厂2022年初持续稳定运行[55] - 第二座大宗气站2024年上半年开始供气[55] - 大宗气体供应服务合约期为至少15年[55] - 建成两座国产化12英寸晶圆大宗气体供应工厂，能够提供至少15年高纯大宗气体供应[74] - 固定资产原值总额29.92亿元，其中半导体设备制造9.73亿元占32.52%，电子材料生产7.17亿元占23.95%，晶圆再生及部件清洗6.33亿元占21.16%[77] - 已建成42万平米生产和服务基地，另有4.87万平米在建[77] - 通过积极备货和本土供应链建设基本实现自主可控，部分分析侦测类部件持续验证中[80] - 2017年至今已出货各类高纯特气设备和高纯化学品设备超过4.2万台[61] 订单及收入表现 - 2025年1-6月公司新增订单总额为17.25亿元[63] - 截至报告期公司在手订单共134.14亿元（含长期订单），其中泛半导体行业订单占比94.72%[63] - 集成电路领域在手订单占比85.3%，服务于12英寸集成电路客户占比达89.10%[63] - 2024年上半年及2025年上半年电子材料领域收入分别为0.54亿元和1.33亿元[64] - 报告期内公司实现收入16.08亿元，同比增长5.25%[62] - 息税折旧及摊销前利润（EBITDA）为3.19亿元[62] 研发及知识产权 - 上市至今累计研发投入达18.48亿元，专利数量从50余项增长至865项[61] - 累计申请专利865件，其中发明专利356件，PCT国际申请23件，已授权专利615件，其中发明专利194件，软件著作权185件，注册商标163件[72] 子公司及参股企业表现 - 公司参股企业包括至微半导体、波汇科技、江苏启微等子公司[13] - 上海嘉至半导体气体有限公司电子大宗气站营业收入113,088.33万元，净利润1,719.13万元[96] - 至微半导体（上海）有限公司营业收入397,760.32万元，净利润-2,966.59万元[96] - 江苏微启半导体有限公司营业收入248,920.26万元，净利润-5,799.70万元[96] - 上海汇波科技有限公司营业收入81,320.57万元，净利润-162.31万元[96] - 上海汇波信息技术有限公司营业收入47,820.07万元，净利润-518.24万元[96] - 中能瑞通（北京）科技有限公司营业收入14,060.67万元，净利润-2,417.98万元[96] - 天津汇至光电技术有限公司营业收入44,352.31万元，净利润819.78万元[96] - 合肥半导体有限公司营业收入61,226.04万元，净利润-2,290.11万元[96] - 合肥微电子有限公司营业收入6,345.44万元，净利润-1,726.25万元[96] - 贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司营业收入56,991.30万元，净利润3,642.07万元[96] 公司治理及股权 - 公司副总经理叶颖因法定退休年龄离任，白柠被聘任为新副总经理[106] - 半年度利润分配预案为不分配不转增，每10股送红股0股、派息0元、转增0股[106] - 公司股份总数因回购股份注销减少260.392万股至3.836亿股，降幅0.67%[137][138] - 无限售流通股份减少260.392万股至3.83亿股，持股比例维持99.82%[137] - 有限售条件股份数量保持68.04万股，占比0.18%[137] - 普通股股东总数为80,111户[140] - 第一大股东蒋渊持股8,650万股占比22.55%，其中质押2,866万股[141] - 股东共青城尚纯持股1,520万股占比3.96%，无质押[141] - 股东陆龙英持股1,250万股占比3.26%，其中质押600万股[141] - 公司回购专用证券账户持股413.39万股占比1.08%[141][142] - 前十名股东中一致行动人包括蒋渊、陆龙英及共青城尚纯[142] - 股份变动未对每股收益及每股净资产等财务指标产生影响[139] - 第四期股权激励计划将回购注销68.04万股限制性股票[144] - 第四期股权激励首次授予8名激励对象42.24万股限制性股票[144] 股权激励及员工持股 - 第三期股权激励预留授予第二个行权期结束未行权[107] - 第四期股权激励首次授予股票期权第三个行权期行权条件未成就[107] - 第四期股权激励预留授予股票期权第二个行权期行权条件未成就[107] - 第四期股权激励首次授予限制性股票第三个解锁期解锁条件未成就[107] - 第四期股权激励预留授予限制性股票第二个解锁期解锁条件未成就[107] - 公司终止2024年员工持股计划，决定实施第一期员工持股计划[108] 风险因素 - 公司面临人才流失风险，可能对产品开发和技术研究产生不利影响[102] - 公司存在汇率风险，将开展套期保值措施降低汇率波动影响[103] - 公司阶段性面临短期利润受折旧和利息重大影响，出现EBITDA高但扣非利润低的情况[78] - 2024年末应收账款前十大客户期后回款比例为38.38%[69] 承诺及合规 - 公司不存在非经营性资金占用及违规担保情况[6][7] - 公司控股股东蒋渊、陆龙英、尚纯投资承诺长期有效履行关联交易合规义务，承诺时间为2018年9月25日[111] - 赵浩及其一致行动人承诺长期有效避免关联交易损害上市公司利益，承诺时间为2018年9月25日[111] - 所有承诺方均严格履行关联交易及同业竞争承诺，无未履行事项[111] - 承诺方保证不利用控股地位促使股东大会或董事会作出侵犯公司合法权益的决议[111] - 关联交易需依法签订协议并按公允价格执行，确保交易公允性[111] - 承诺方杜绝占用上市公司资金或资产行为，且不要求提供担保[111] - 蒋渊、陆