收入和利润（同比） - 2025年前三季度营业收入80.63亿元，同比增长46.40%[4][6][11] - 2025年前三季度归属于上市公司股东的净利润12.11亿元，同比增长32.66%[4][6][11] - 2025年第三季度单季营业收入31.02亿元，同比增长50.62%[6] - 2025年前三季度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润8.87亿元，同比增长9.05%[6][12] - 2025年第三季度（7-9月）公司营业收入为31.02亿元，同比增长50.62%[15] - 2025年前三季度（1-9月）公司营业收入为80.63亿元，同比增长46.40%[15] - 2025年前三季度归属于上市公司股东的净利润为12.11亿元，同比增长32.66%[15] - 营业总收入同比增长46.4%至80.63亿元人民币，其中营业收入为80.63亿元人民币[25] - 净利润同比增长29.5%至11.81亿元人民币，归属于母公司股东的净利润为12.11亿元人民币[26] - 综合收益总额为11.88亿元人民币，较上年同期的9.13亿元增长30.2%[27] - 归属于母公司所有者的基本每股收益为1.94元/股，较上年同期的1.48元/股增长31.1%[27] 各业务线表现 - 2025年前三季度刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26%[4][11] - 2025年前三季度LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长1332.69%[4][11] - 2025年第三季度刻蚀设备收入同比增长35.34%[15] - 2025年前三季度刻蚀设备收入为61.01亿元，较去年同期增长约38.26%[15] 成本和费用（同比） - 2025年前三季度研发支出25.23亿元，同比增长63.44%，占营业收入比例31.29%[4][6][11] - 2025年第三季度单季研发投入10.31亿元，同比增长79.93%，占营业收入比例33.25%[6] - 2025年前三季度公司研发支出较上年同期增长9.79亿元，增长约63.44%[15] - 2025年前三季度研发支出占营业收入比例约为31.29%[15] - 2025年第三季度研发投入合计同比增长79.93%[16] - 研发费用同比大幅增长96.3%至17.94亿元人民币[25] - 营业成本同比增长54.3%至49.10亿元人民币[25] - 支付给职工及为职工支付的现金为13.53亿元人民币，较上年同期的9.98亿元增长35.6%[27] - 支付的各项税费为5.40亿元人民币，较上年同期的2.16亿元增长150.1%[27] 非经常性损益 - 2025年前三季度计入非经常性损益的股权投资收益为3.29亿元[11] - 2025年前三季度计入非经常性损益的股权投资收益为3.29亿元，较上年同期增加约2.75亿元[15] - 公允价值变动收益大幅增长483.5%至3.17亿元人民币[26] 现金流量 - 2025年前三季度经营活动产生的现金流量净额12.98亿元，同比增长385.23%[6] - 2025年前三季度公司经营活动产生的现金流量净额为12.98亿元，同比增长385.23%[15] - 销售商品、提供劳务收到的现金为105.81亿元人民币，较上年同期的82.09亿元增长28.9%[27] - 经营活动产生的现金流量净额为12.98亿元人民币，较上年同期的2.68亿元大幅增长385.1%[27][28] - 投资活动产生的现金流量净额为-11.90亿元人民币，上年同期为净流入11.68亿元[28] - 购建固定资产、无形资产和其他长期资产支付的现金为5.02亿元，较上年同期的6.95亿元下降27.8%[28] - 期末现金及现金等价物余额为57.81亿元人民币，较上年同期的45.59亿元增长26.8%[28] 财务费用与收益 - 财务费用为净收入4.50亿元人民币，主要因利息收入8.28亿元人民币超过利息费用0.14亿元人民币[25] 资产与负债状况（期末余额同比/环比变化） - 截至2025年9月30日，公司货币资金为75.07亿元，较2024年末的77.62亿元略有下降[20] - 截至2025年9月30日，公司应收账款为20.93亿元，较2024年末的13.52亿元增长约54.8%[20] - 截至2025年9月30日，公司存货为81.94亿元，较2024年末的70.39亿元增长约16.4%[20] - 截至2025年9月30日，公司合同负债为43.89亿元，较2024年末的25.86亿元增长约69.7%[21] - 截至2025年9月30日，公司长期股权投资为14.33亿元，较2024年末的8.70亿元增长约64.7%[21] - 截至2025年9月30日，公司开发支出为13.31亿元，较2024年末的12.48亿元增长约6.7%[21] - 总负债同比增长28.8%至83.46亿元人民币[22] - 流动负债同比增长33.1%至75.01亿元人民币[22] - 未分配利润同比增长20.5%至60.25亿元人民币[22] - 归属于母公司所有者权益同比增长8.8%至214.72亿元人民币[22] 股东信息 - 前10名无限售条件股东中，上海创业投资有限公司持股9348.35万股，巽鑫（上海）投资有限公司持股7718.87万股[18] - 前10名无限售条件股东中，香港中央结算有限公司持股5589.39万股，国家集成电路产业投资基金二期持股2325.43万股[18] - 巽鑫（上海）投资有限公司与国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司存在关联关系[18] 其他综合收益 - 归属于少数股东的综合收益总额为-3042.83万元人民币，亏损额较上年同期的-79.55万元显著扩大[27]