文章核心观点 - 半导体量检测市场空间广阔国产替代需求迫切 公司看好半导体量检测设备国产替代带来的投资机会 [1] 半导体量检测设备 - 用于前道晶圆制造和中道先进封装中的工艺控制 是芯片良率的关键 [1] - 随着半导体工艺制程缩小和先进封装技术发展 行业对工艺控制要求严苛 下游客户对高端设备技术要求及需求量持续提升 [1] - 多应用光学和电子束技术 光学检测效率高 电子束检测精度高 实际应用中优势互补 [1] 明暗场晶圆缺陷检测设备 - 半导体工艺控制设备分为“缺陷检测”和“量测”两大类 2020年全球半导体量检测设备市场中 缺陷检测设备市场占比约62.6% 量测设备市场占比约33.5% [2] - 基于明场/暗场成像原理的纳米图形晶圆缺陷检测设备技术壁垒高 市场占比达24.7% 是龙头厂商必争之地 [2] - 产业端明场缺陷检测多采用美国科磊29xx和39xx系列产品 部分产品可应用于5nm及以下节点 [2] 半导体设备第四大细分赛道 - 2023年全球半导体量检测设备在全球半导体制造设备中占比近13% 是第四大细分赛道 [3] - 近年来中国半导体产业发展迅速 带动中国大陆半导体量检测设备市场高速发展 2023年市场规模达43.6亿美元 [3] - 2023年全球量检测设备龙头美系厂商科磊中国大陆收入规模约33.9亿美元 市占率超70% 国内中科飞测2023年收入规模仅8.9亿元 国内市占率不到5% [3] - 当前中美博弈背景下 半导体量检测设备板块具备极大国产替代空间和自主可控必要性 [1][3]