高端化学品及集成电路用电子化学品制造关键技术通过鉴定
中国化工报·2025-04-22 10:18

项目核心技术与水平 - 项目核心技术被由11位专家组成的鉴定委员会认定为处于国际领先水平 [1] - 项目建立了精馏塔内气液两相流的数学模型,研发的IP型高效填料分离效率提高37.5%~50%,导向复合塔板分离效率达75%~85% [3] - 发明反应除杂技术,使四氯化硅产品纯度达到99.9999999%(9N级) [3] - 开发等离子反应合成技术,得到纯度99.99999%(7N级)的乙硅烷 [3] - 发明精馏—连续多级逆流分布结晶技术,应用于对二氯苯-邻二氯苯等分离,产品纯度≥99.999% [3] - 开发优化结构的双载体吸附系统,生产出纯度99.999999%(8N级)的四氯硅烷 [3] - 开发高效抗杂质渗入技术,使电子级氢氟酸单个金属离子杂质含量降至5ppt以下,突破G5标准要求 [3] - 团队已取得多项获授权的国内外发明专利,具有自主知识产权 [3] 产业化应用与经济效益 - 项目成果已在多家企业获得广泛应用,生产出百余种产品 [4] - 近3年技术应用累计节约蒸汽116万吨、电耗47763万千瓦时,节能折合标煤20.8万吨,相当于减排二氧化碳51.8万吨 [6] - 在内蒙古双欣高端醋酸乙烯生产中,醋酸甲酯等影响环境的物质含量从0.04%~0.06%降低至150ppm以下,优于国际技术指标 [6] - 未来5年,项目技术应用预计将新增产值超400亿元,带动就业岗位1万个 [6] - 预计到2030年,项目技术出口将形成超10亿元的年服务收入规模 [6] 未来发展方向 - 项目团队将进一步深化智能化与绿色化创新,实现精馏过程动态优化与能量梯级利用 [6] - 将探索精馏耦合、生物基化学品分离等前沿领域,助力实现碳中和目标 [6] - 将深化稀土同位素、超高纯材料制备技术,支撑航空航天、半导体等战略产业发展 [6] - 项目将通过技术标准国际化与高质量共建“一带一路”合作,推动中国方案在全球化工行业应用 [6]